Occasion KOKUSAI DD-823V #293729520 à vendre en France
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ID: 293729520
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1995
Furnace, 8"
Paint color: Ivory
LC-750 O2 Analyzer
Cassette: Normal I/O
System main controller CX2003A
Mechanical controller CX1215-1, 1215-2
Sequence controller CX1309A
Gas controller CX2003A
Furnace temperature controller CQ1500A
Furnace overtemp detector DN-130lz3
RIKEN KEIKI GD-D8V
Detecting Gas H2
Host communication
Host computer I/F HSMS
Gas system:
Process gas: N2, H2
FUJIKIN Manual valve
FUJIKIN Air-Operated valve
MILLIPORE Filter
Yataka regulator
MFC STEC / SEC-7330, 7350, 7340
TEMTECH / TPTMV-WD420 PT Sensor
DPM TEMTECH / NPS42000P
Cassette handling:
(21) Cassette storage
(25) Wafer cassette
Fork type: 1+4 VAC
Fork wafer presence sensor
Fork variable pitch
Install option:
Gas flow chart panel
Operation panel
1995 vintage.
Le four de diffusion KOKUSAI DD-823V est un four monocouche à haute performance spécialement conçu pour le traitement thermique fiable et efficace des dispositifs semi-conducteurs. Ce four est doté d'un système de surveillance chambre-environnement indépendant et d'un programme convivial qui garantit des résultats cohérents et reproductibles. Il est conçu pour fonctionner jusqu'à 1400 ° C et contient une gamme de fonctionnalités qui permettent aux utilisateurs d'effectuer un traitement de diffusion fiable avec la précision et le contrôle requis. Le four comprend une chambre de four, chauffée par un chauffe-air à haute température et isolée pour l'efficacité énergétique et la sécurité. Il contient également une pompe mécanique à haute température et un ventilateur à faible bruit pour refroidir la chambre et entraîner le processus d'oxydation. Le régulateur de température proportionnel permet une manipulation précise de la température grâce à un système de boucle fermée PID et permet d'obtenir des temps de chauffage et de refroidissement rapides avec un haut degré de stabilité et de précision. L'atmosphère à l'intérieur de la chambre de procédé est maintenue et surveillée par un système de contrôle du débit de gaz qui se compose de régulateurs de débit massique pour contrôler le débit de gaz et d'une unité de vide pour l'évacuation de la chambre du four. Une pompe turbo moléculaire refroidie par l'eau est incluse pour s'assurer que la pression à l'intérieur de la chambre reste dans une plage acceptable. Toutes ces caractéristiques spécialisées assurent un dépôt de film uniforme, même en sortie de la chambre de procédé. Divers accessoires sont également livrés avec DD-823V résultant en une proposition de valeur globale. Certains de ces accessoires primaires comprennent une unité de tête de douche rotative, qui aide à la formation de couches uniformes au niveau des plaquettes par l'application d'une douche de gaz réactif, et une plaque de liaison, qui permet le chargement et le déchargement automatisés des produits sans compromettre l'environnement de la chambre de processus. En plus de ceux-ci, une unité de charge supérieure en quartz est également inclus qui est utilisé pour modifier l'atmosphère. Enfin, on inclut un filtre à charbon actif qui élimine efficacement les impuretés organiques dans l'atmosphère de la chambre. Dans l'ensemble, KOKUSAI DD-823V Diffusion Four est une solution de traitement de diffusion fiable et efficace qui contient une gamme de fonctionnalités spécialisées et d'accessoires avancés pour la formation de couches uniformes au niveau des plaquettes. Il assure un traitement thermique sûr, efficace et répétable des dispositifs semi-conducteurs à des températures allant jusqu'à 1400 ° C et offre un haut degré de précision et de contrôle sur le processus. Un ensemble d'accessoires utiles sont inclus pour améliorer encore l'efficacité du four et l'aider à fournir une proposition de valeur.
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