Occasion KOKUSAI DD-823V #9286970 à vendre en France
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Vendu
ID: 9286970
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1994
System, 8"
Gas supply:
PCW Supply
Boat system
Load lock
(26) Carrier slots
System control:
Main controller: 0 x 3000
Touch screen
Front and rear gas flow
Temperature: CQ1600
Pressure: PCU 3000
Power supply: 1Φ 208V / 15A
Heater power: 3Φ 208V / 250A
Pump unit
Process gases:
Gas 1:
FC-986Y-BF N2 10 SLM
FC-986Y-BF N2 10 SLM
FC-985Y-BF N2 2 SLM
Gas 2:
FC-985CY-BF NO 1 SLM
Gas 3:
FC-986CY-BF N2O 20 SLM
Gas 4:
TC-FC986CY-BF O2 10 SLM
TC-FC985CY-BF O2 1 SLM
Gas 5:
FC-985CY-BF H2 500 Sccm
FC-985CY-BF H2 200 Sccm
FC-985CY-BF H2 500 Sccm
FC-985CY-BF H2 500 Sccm
FC-985CY-BF H2 200 Sccm
Gas 6:
FC-985CY-BF HCl 500 Sccm
Gas distrubution:
FUJIKIN Standard
SUS-316L Tubing material
VCR Tubing finish
FUJIKIN Manual
FUJIKIN Air operated valve
VERIFLD Regulator
AERA MFC
Exhaust distribution:
Baratron gauge
Main valve
Pump line
(24) Cassettes
(2) Input / output ports
(5) Wafer transfers
Ceramic fork material
(5) Forks
Fork variable pitch
Elevator:
Boat elevator
Auto shutter
Boat rotation
Mechanical part
Heating chamber:
TC R Type: (5) Zones
(5) Spikes T/C
(5) Overtemp protectsT/C
Door interlock
Exhaust:
Heater
Gas box
Process
Missing parts:
CKD
Therno VAC TM 22
1994 vintage.
KOKUSAI DD-823V est un four de diffusion et un accessoire adapté à une large gamme d'applications dans l'industrie des semi-conducteurs. Le four comporte une chambre capable d'atteindre et de maintenir des températures jusqu'à 1300℃. Ceci permet la diffusion de gaz et de divers matériaux pour le traitement et d'autres applications. Le four est également conçu pour maintenir efficacement et efficacement une atmosphère adaptée à l'application effectuée à l'intérieur de la chambre. DD-823V est équipé de plusieurs systèmes de contrôle. Il dispose d'un macro-programmateur pour contrôler la température, le débit de gaz et d'autres processus à l'intérieur de la chambre. En outre, le four est également équipé de régulateurs de température de précision pour maintenir des profils de température précis et reproductibles. Ces contrôleurs fournissent également des paramètres réglables pour contrôler la vitesse de montée et de descente de la température à l'intérieur du four conformément à l'exigence d'application. La section de puissance du four utilise une technologie avancée de correction de facteur de puissance, permettant un contrôle précis de la puissance fournie à la chambre, améliorant encore la précision de traitement. En plus de ses fonctions de régulation de température et de contrôle de processus, KOKUSAI DD-823V dispose également de divers composants de sécurité. Il s'agit notamment d'alarmes de surchauffe et d'oxydation, ainsi que d'un ventilateur d'échappement qui empêche les gaz de persister à l'intérieur de la chambre. Le four dispose également d'une porte de sécurité avec un bouton d'arrêt d'urgence qui ferme toute l'alimentation des chambres en cas d'urgence. Tous ces composants garantissent que le four est sûr et fiable pour une large gamme d'applications. DD-823V est également livré avec un ensemble complet d'accessoires qui le rendent facile à utiliser et à entretenir. Il s'agit notamment d'un indicateur de température, d'un hygromètre et d'un manomètre pour surveiller l'atmosphère à l'intérieur de la chambre. L'unité comprend également différents systèmes de commande de soupape et un tube à quartz, permettant aux utilisateurs de prévisualiser le processus de diffusion. Enfin, une large gamme d'adaptateurs et d'autres accessoires sont disponibles pour connecter le four à des systèmes externes. KOKUSAI DD-823V est un four et un accessoire de diffusion fiable, sûr et efficace qui convient à diverses applications de traitement dans l'industrie des semi-conducteurs. Sa capacité à atteindre et maintenir des températures jusqu'à 1300℃, combinée à ses nombreuses caractéristiques de sécurité et accessoires, en font un choix idéal pour de nombreuses exigences de traitement.
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