Occasion KOKUSAI DJ-813 #141295 à vendre en France

KOKUSAI DJ-813 est un four de diffusion et des accessoires conçus pour le traitement des plaquettes, y compris le dépôt métallique et la gravure diélectrique. Ce four est capable de multiples combinaisons de processus, avec une manutention des plaquettes chauffées et non chauffées, une capacité horizontale de style mur chaud, et jusqu'à deux séquences de processus. DJ-813 est équipé d'un tube en quartz de 13 pouces pour le chauffage et le refroidissement par diffusion. Ce tube est conçu pour obtenir une uniformité de température avec une variation minimale. Le cadre, la zone de température et la structure de la zone de puissance contribuent également à maintenir la température uniforme, ce qui la rend idéale pour le traitement à basse température. Le gestionnaire de plaquettes adjacent est réglable et peut contenir jusqu'à quatre plaquettes à la fois. KOKUSAI DJ-813 peut être utilisé à la fois pour le dépôt métallique et la gravure diélectrique. Le logiciel de commande est conçu pour optimiser les conditions de processus tout au long de la séquence. Le contrôle de température de haute précision est obtenu avec le contrôleur PID analogique ou numérique inclus. L'alimentation a plusieurs sorties et dispose d'un générateur IGBT haute fréquence, lui permettant d'atteindre des températures de processus plus élevées avec un bruit de fond faible. Le four comprend également une minuterie programmable, un mélangeur de gâchette et des capots de plaquettes multiples. Les couvercle offrent un joint étanche aux gaz pour les produits chimiques de procédé, prévenant la contamination croisée. Le mélangeur de grille permet un mélange chimique précis, réduisant les risques de contamination. Le minuteur peut être programmé pour plusieurs opérations de démarrage automatique et d'arrêt automatique, ce qui réduit le besoin d'intervention manuelle. Dans l'ensemble, DJ-813 est un four de diffusion haute performance et une suite d'accessoires, capable de traitement à basse température et de multiples combinaisons de processus. C'est une solution idéale pour les applications de traitement des plaquettes, offrant un contrôle rapide et précis de la température, l'uniformité et la manutention des plaquettes.