Occasion KOKUSAI DJ-835V #9309559 à vendre en France

KOKUSAI DJ-835V
ID: 9309559
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2001
Vertical LPCVD furnace, 8" 2001 vintage.
KOKUSAI DJ-835V est un équipement de four de diffusion conçu pour des applications de production et de recherche et développement. Ce système haute performance est conçu pour répondre aux besoins de nombreux fabricants de dispositifs semi-conducteurs de pointe dans l'industrie. Cette unité est composée de différents composants, y compris le four de diffusion et les accessoires, pour des processus thermiques uniformes et précis. Le four de diffusion fournit une température maximale de 1200 ° C et une conception de contrôle de la température de 4 zones pour assurer une uniformité précise des caractéristiques thermiques tout au long du processus. La large gamme de réglage comprend la diffusion thermique à haute température, le recuit à haute température et le recuit thermique rapide (RTA). L'utilisateur peut choisir différents taux de chauffage de 50 ° C à 1000 ° C par minute. La température contrôlée avec précision est alors maintenue avec une précision ± 2 ° C KOKUSAI DJ 835V est équipé d'une capacité de chauffage massive de 6 000 à 5,000W. Différents systèmes de contrôle de l'atmosphère de la zone chaude sont intégrés à l'unité pour fournir un environnement contrôlé pour différents types de processus de fabrication d'appareils. Il s'agit de l'azote, du gaz de formation, de l'oxygène sec et de l'hydrogène. La machine de refroidissement est construite avec une unité d'échange de chaleur très efficace pour assurer un refroidissement rapide et fiable des plaquettes pendant la fabrication. D'autres composants de l'outil comprennent la haute température, des boucliers électromagnétiques refroidis à l'eau, des systèmes d'échappement refroidis à l'eau à haute température. Le four a également été conçu pour minimiser la contamination en utilisant un actif d'injection de gaz à haut rendement qui empêche les particules, les gouttelettes et les résidus organiques d'atteindre la chambre chauffée. Le modèle fournit une acquisition de données à haut rendement pour la surveillance et le contrôle des processus. Cela inclut un équipement de contrôle qui contient des interfaces de communication Ethernet. Une interface graphique conviviale permet à l'utilisateur de surveiller les paramètres du processus avec facilité et précision. Le système est également combiné avec une unité de distribution robotique avancée qui est équipée d'une fonction d'alignement automatique des plaquettes et d'une machine à vide de buse pour assurer un positionnement précis des plaquettes. DJ-835V outil est conçu pour fournir des processus thermiques fiables avec des résultats fiables et uniformes.
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