Occasion KOKUSAI / HIKE Vertex DD-803V #293592871 à vendre en France
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ID: 293592871
Furnace.
KOKUSAI/HIKE Vertex DD-803V est un four de diffusion de qualité industrielle et les accessoires associés. Spécifiquement conçu pour l'utilisation par l'industrie des semi-conducteurs, le DD-803V est utilisé pour la formation de couches épitaxiales et l'oxydation thermique de plaquettes lors de la fabrication du dispositif. Il est bien adapté pour un recuit thermique rapide et un refroidissement rapide. Le DD-803V est conçu pour la reproductibilité et la fiabilité du procédé, avec une température maximale de fonctionnement de 1 400 ° C et une vitesse de refroidissement rapide de -5 ° C à + 150 ° C par seconde. L'élément chauffant à diffusion intégrée utilise une enveloppe en céramique à base de nitrure de bore (BN) avec un élément chauffant en tungstène. Cette combinaison offre une excellente uniformité thermique, des vitesses de chauffage et de refroidissement rapides, et une uniformité améliorée des processus de plaquettes. Le four est construit en acier inoxydable, avec un équipement d'isolation pour assurer une stabilité maximale de la température. La chambre à vide est construite en acier inoxydable de qualité 316/304, avec un revêtement optionnel en nitrure de bore pyrolytique (PBN) pour réduire la contamination par les particules. Le DD-803V est équipé d'un ordinateur de contrôle de processus et d'une interface homme-machine (HMI) pour gérer et surveiller le processus. Ce système à la pointe de la technologie permet de surveiller la température et la pression de la chambre, ainsi que les données des unités de traitement en station. Le HMI comprend une gamme de dispositifs de protection contre les erreurs de l'opérateur, des conditions de fonctionnement anormales et des températures élevées du four. Le DD-803V comprend également une variété d'éléments accessoires tels qu'une machine d'échappement, une boîte de chargement de poignée, des cassettes de chargement de processus, des bateaux à quartz et de l'équipement de traitement préamplifié. L'ensemble de l'outil est conçu pour la facilité d'utilisation et de maintenance. Dans l'ensemble, l'actif HIKE Vertex DD-803V permet le processus précis et reproductible de fabrication des appareils. Avec une architecture de modèle interchangeable et un contrôle de processus avancé, le DD-803V est idéal pour la fabrication avancée de dispositifs semi-conducteurs.
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