Occasion KOKUSAI Quixace II ALD Nitride #9397062 à vendre en France

KOKUSAI Quixace II ALD Nitride
ID: 9397062
Vertical furnace.
KOKUSAI Quixace II ALD Nitrure est un four de diffusion conçu pour traiter une variété de procédés de dépôt en couches minces et d'implantation ionique. Il s'agit d'un four de diffusion à chambre unique qui est conçu pour fournir un contrôle de procédé supérieur pour le dépôt de couches minces multicouches et les profils dopants les plus complexes. L'équipement est capable de traiter simultanément jusqu'à 38 plaquettes, éliminant les temps d'attente et maximisant le débit de production. Le four de diffusion de nitrure de Quixace II ALD offre une grande variété d'options de procédé. Il permet une combinaison de systèmes PECVD et ALD qui permet à l'utilisateur de déposer le matériau désiré avec une plus grande uniformité et une plus grande reproductibilité. Le système sous pression peut fournir une vitesse de dépôt plus élevée, permettant d'améliorer encore le débit de production. Les options de procédé comprennent également le recuit à haute température et l'implantation ionique RF, permettant à l'utilisateur de créer les profils dopants les plus complexes. KOKUSAI Quixace II Four de diffusion de nitrure ALD dispose de contrôles automatisés de processus pour des résultats précis et reproductibles. L'unité est adaptée pour un fonctionnement autonome, permettant à l'utilisateur de modifier et de surveiller instantanément les différents paramètres du processus. Il dispose également d'une machine de refroidissement intégrée qui permet à l'outil de traiter les processus à haute température en continu sans causer de dommages aux plaquettes. La flexibilité de Quixace II ALD Nitride permet d'ajouter un atout de chargement en option et d'intégrer d'autres systèmes dans une ligne de traitement sous vide entièrement automatisée. Ceci permet à l'utilisateur d'avoir un contrôle total sur le débit de production du substrat. KOKUSAI peut également fournir des accessoires supplémentaires tels qu'un bras robot pour la manutention des plaquettes, et des pompes à vide cryopump et mécaniques pour un modèle entièrement automatisé. Globalement, le four de diffusion de nitrure de KOKUSAI Quixace II ALD est un équipement de pointe pour la création de films minces complexes et de profils dopants. Ses contrôles automatisés des processus, sa grande variété d'options de processus et sa capacité à gérer efficacement la production de wafers en grand volume en font le choix idéal pour les applications d'implantation de couches minces et d'ions.
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