Occasion KOKUSAI Quixace II Doped Poly #9172063 à vendre en France

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ID: 9172063
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2014
Vertical LPCVD furnaces, 12" Software version: CX5000 (OU Ver.1.50.01) Loader configuration: (5) Loaders System configuration: Furnace unit: (1) Cartridge heater (5) T/C for heater control (1) T/C for sub heater control (5) T/Cs for over temperature protection (1) 5-P T/C for cascade control (1) 1-P T/C for profile control (1) Thyristor unit for control Clean unit: (4) Clean module units Controller: Main controller (OU) Main operation unit Sub operation unit Process module controller (2) DDC Temperature controllers (2) Gate drive units MFC / Pressure unit FOUP Loader controller unit Wafer handling controller unit Valve / Interlock control unit Switching unit Signal tower: Front (2) Gas flow pattern panels EDA Controller EDA Operation unit Drive mechanisms: I/O Shutter AGV / PGV / OHT Stage FOUP Loader Rotation FOUP storage FOUP Opener (2) Wafer detections Wafer transfer Variable wafer pitch converter Boat elevator Boat changer Furnace port shutter Boat rotation Wafer transfer crash detector Gas system: Gas unit (IGS) Exhaust system: Dry pump Mechanical booster pump Diaphragm sensor: 1000 Torr Diaphragm sensor: 2 Torr Main valve Exhaust piping Exhaust dilution line Reactor tube press leak line Back ground line Jacket heater for exhaust pipe Seal cap heater Inlet flange heater Inlet port heater Safety: Light curtain system Other: (2) OHT I / F Unit (1) Gateway-HSMS (2) RF ID Readers (2) Antennas (2) Cantees (2) Chemical filters N2 Purge load lock system O2 Monitor / Detector FOUP Opener N2 purge system Loading area MFC Loading area N2 purge line FOUP Opener N2 purge line System power rating: 480 AC, 3 phase Currently installed 2014 vintag
KOKUSAI Quixace II Doped Poly est un four de diffusion de haute technologie et des accessoires conçus pour une production cohérente et fiable des dernières technologies de dispositifs semi-conducteurs. Le système comprend un four à tubes multi-zones de 400 mm, un chauffe-substrat, une station de préparation des boîtes à gaz, un détecteur de fuite d'ammoniac traité sous vide et plusieurs boîtes à gaz avec des conduites de livraison. Le four est construit en acier inoxydable résistant à la chaleur et à la corrosion avec une structure mécanique simple et efficace, ce qui en fait un choix idéal pour les clients poursuivant l'économie, la qualité et l'efficacité. Le four à tubes multi-zones dispose d'une unité de contrôle thermique de 8 zones avec un contrôle de température précis indépendant, une répartition uniforme de la température et un contrôle précis du cycle thermique. Le tube du four est réalisé à partir d'un revêtement en quartz double couche pour une excellente efficacité thermique. L'extrémité du tube est équipée d'une buse spéciale pour éviter les déformations et les dommages aux composants fragiles. Le tube est également équipé d'une fenêtre en quartz pour une vue directe de l'intérieur du tube avec un filtre intégré pour éviter la contamination par la poussière et d'autres particules. Le chauffe-substrat est conçu pour être utilisé avec Quixace II Doped Poly pour chauffer des substrats jusqu'à 2000 ° C L'unité est compacte et nécessite un temps d'installation minimal. Il est livré avec deux étages thermiques contrôlés indépendamment et un ventilateur haute performance pour un flux d'air régulier et régulier sur les substrats pour un chauffage uniforme. La station de préparation des boîtes à gaz est construite pour répondre aux besoins de l'environnement de fabrication des semi-conducteurs le plus exigeant. Il est équipé d'une bouteille de stockage d'azote, de deux conduites de gaz indépendantes, d'un port de connexion CGA pratique et d'une interface de contrôle simple. La bouteille d'azote peut non seulement être utilisée pour maintenir le flux d'azote nécessaire au processus de fabrication du substrat, mais aussi servir d'alimentation de secours en cas de panne de courant. Le détecteur de fuite d'ammoniac traité sous vide est une machine amphétamine efficace et fiable qui permet de détecter les vapeurs d'ammoniac dangereuses. Avec jusqu'à trois canaux indépendants et un outil de contrôle et de gonflage intégré, ce détecteur vous permet de détecter facilement et d'alarme les rejets potentiels d'ammoniac dans une plage réglable jusqu'à 10 ppm. KOKUSAI Quixace II Doped Poly est la solution optimale pour répondre aux besoins de la production avancée de semi-conducteurs. Avec ses caractéristiques de pointe et son design robuste, cet atout fournit une plate-forme fiable pour garantir un débit de processus efficace et la qualité des produits manufacturés.
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