Occasion KOKUSAI Quixace II Doped Poly #9172063 à vendre en France
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Vendu
ID: 9172063
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2014
Vertical LPCVD furnaces, 12"
Software version: CX5000 (OU Ver.1.50.01)
Loader configuration:
(5) Loaders
System configuration:
Furnace unit:
(1) Cartridge heater
(5) T/C for heater control
(1) T/C for sub heater control
(5) T/Cs for over temperature protection
(1) 5-P T/C for cascade control
(1) 1-P T/C for profile control
(1) Thyristor unit for control
Clean unit:
(4) Clean module units
Controller:
Main controller (OU)
Main operation unit
Sub operation unit
Process module controller
(2) DDC Temperature controllers
(2) Gate drive units
MFC / Pressure unit
FOUP Loader controller unit
Wafer handling controller unit
Valve / Interlock control unit
Switching unit
Signal tower: Front
(2) Gas flow pattern panels
EDA Controller
EDA Operation unit
Drive mechanisms:
I/O Shutter
AGV / PGV / OHT Stage
FOUP Loader
Rotation FOUP storage
FOUP Opener
(2) Wafer detections
Wafer transfer
Variable wafer pitch converter
Boat elevator
Boat changer
Furnace port shutter
Boat rotation
Wafer transfer crash detector
Gas system:
Gas unit (IGS)
Exhaust system:
Dry pump
Mechanical booster pump
Diaphragm sensor: 1000 Torr
Diaphragm sensor: 2 Torr
Main valve
Exhaust piping
Exhaust dilution line
Reactor tube press leak line
Back ground line
Jacket heater for exhaust pipe
Seal cap heater
Inlet flange heater
Inlet port heater
Safety:
Light curtain system
Other:
(2) OHT I / F Unit
(1) Gateway-HSMS
(2) RF ID Readers
(2) Antennas
(2) Cantees
(2) Chemical filters
N2 Purge load lock system
O2 Monitor / Detector
FOUP Opener N2 purge system
Loading area MFC
Loading area N2 purge line
FOUP Opener N2 purge line
System power rating: 480 AC, 3 phase
Currently installed
2014 vintag
KOKUSAI Quixace II Doped Poly est un four de diffusion de haute technologie et des accessoires conçus pour une production cohérente et fiable des dernières technologies de dispositifs semi-conducteurs. Le système comprend un four à tubes multi-zones de 400 mm, un chauffe-substrat, une station de préparation des boîtes à gaz, un détecteur de fuite d'ammoniac traité sous vide et plusieurs boîtes à gaz avec des conduites de livraison. Le four est construit en acier inoxydable résistant à la chaleur et à la corrosion avec une structure mécanique simple et efficace, ce qui en fait un choix idéal pour les clients poursuivant l'économie, la qualité et l'efficacité. Le four à tubes multi-zones dispose d'une unité de contrôle thermique de 8 zones avec un contrôle de température précis indépendant, une répartition uniforme de la température et un contrôle précis du cycle thermique. Le tube du four est réalisé à partir d'un revêtement en quartz double couche pour une excellente efficacité thermique. L'extrémité du tube est équipée d'une buse spéciale pour éviter les déformations et les dommages aux composants fragiles. Le tube est également équipé d'une fenêtre en quartz pour une vue directe de l'intérieur du tube avec un filtre intégré pour éviter la contamination par la poussière et d'autres particules. Le chauffe-substrat est conçu pour être utilisé avec Quixace II Doped Poly pour chauffer des substrats jusqu'à 2000 ° C L'unité est compacte et nécessite un temps d'installation minimal. Il est livré avec deux étages thermiques contrôlés indépendamment et un ventilateur haute performance pour un flux d'air régulier et régulier sur les substrats pour un chauffage uniforme. La station de préparation des boîtes à gaz est construite pour répondre aux besoins de l'environnement de fabrication des semi-conducteurs le plus exigeant. Il est équipé d'une bouteille de stockage d'azote, de deux conduites de gaz indépendantes, d'un port de connexion CGA pratique et d'une interface de contrôle simple. La bouteille d'azote peut non seulement être utilisée pour maintenir le flux d'azote nécessaire au processus de fabrication du substrat, mais aussi servir d'alimentation de secours en cas de panne de courant. Le détecteur de fuite d'ammoniac traité sous vide est une machine amphétamine efficace et fiable qui permet de détecter les vapeurs d'ammoniac dangereuses. Avec jusqu'à trois canaux indépendants et un outil de contrôle et de gonflage intégré, ce détecteur vous permet de détecter facilement et d'alarme les rejets potentiels d'ammoniac dans une plage réglable jusqu'à 10 ppm. KOKUSAI Quixace II Doped Poly est la solution optimale pour répondre aux besoins de la production avancée de semi-conducteurs. Avec ses caractéristiques de pointe et son design robuste, cet atout fournit une plate-forme fiable pour garantir un débit de processus efficace et la qualité des produits manufacturés.
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