Occasion KOKUSAI Quixace II NITRIDE #9182061 à vendre en France
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Vendu
ID: 9182061
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
Vertical LPCVD furnace, 12"
Cartridge heater
Heater control
Over-temperature
Thyristor unit for control
I/O Shutter stage: AGV / PGV / OHT Stage
FOUP Loader
Rotation FOUP storage
FOUP Opener
Wafer detection
Wafer transfer
Variable wafer pitch converter
Boat elevator
Boat changer
Furnace port shutter
Boat rotation
AWTC Port
Flange-upper
Flange-lower
Quartz boat
Quartz outer tube
Quartz inner tube
Quartz adiabatic plate
Quartz boat fixing ring
Quartz nozzle 1: D4CN55589
Quartz nozzle 2: D4KN31319#D
Quartz boat fixing ring
Quartz boat
Quartz outer tube
Quartz inner tube
Quartz adiabatic plate
Quartz nozzle 1: D4CN55589
Quartz nozzle 2: D4KN31319#D
Quartz nozzle 3: D5CP15682
Quartz nozzle 4: D5CP15683
Quartz nozzle 5: D5CP15684
Quartz boat fixing ring
SiC Boat
Quartz outer tube
SiC inner tube
SiC adiabatic plate
Quartz nozzle 1
Quartz nozzle 2
Quartz boat fixing ring
Gas unit (IGS): D4VX38302
Tape heater:
Gas pipe 1: D4EX19130
Gas pipe 2: D4EX19131
Diffuser: D4CX33281
Mass flow controller: FC-PA785T-BW-TC Series
Filter: WGSLS Series
Regulator: PGM Series
Pressure gauge: ZT16-S01
Hand valve: MMGD5-11D-W Series
Check valve 1: MCGP5-F1X1 Series
Needle valve: MMGD5-11D-W Series
Air valve: MAGD5 Series
Connection & fittings: VCR / UPG / SWG
MFC 1: NH3, 0.5SLM
MFC 2: N2, 30SLM
MFC 3: SiH2Cl2, 0.2SLM
MFC 4: SiH2Cl2, 0.2SLM
MFC 5: SiH2Cl2, 0.2SLM
MFC 6: SiH2Cl2, 0.2SLM
MFC 7: NH3, 2SLM
MFC 8: NH3, 0.5SLM
MFC 9: NH3, 0.3SLM
MFC 10: NH3, 0.3SLM
MFC 11: NH3, 0.3SLM
MFC 12: NF3, 1SLM
Vacuum sensor (VG11): 1000 Torr
Vacuum sensor (VG12)
Vacuum sensor (VG13): 2 Torr
Vacuum sensor monitor
Main valve: VEC-SHA8-X0327
Exhaust piping: D4CX38671
Exhaust dilution line: D4CX38671
Reactor tube press leak line: D4CX38671
Jacket heater: 150° C
Exhaust pipe: 150° C
Process effluent trap: MKS
Baratron vacuum calibration port
Inlet flange heater: ESH-12964-01
(2) Injector port heaters:
ESH-12965-01
ESH-12966-01
Seal cap heater: ESH-12450-02
O2 Monitor / Detector
FOUP Opener system
N2 Purge system
Load area MFC
Loading area
Furnace port
Radiator
Filters:
Carbon / Chemical 1 filters
Carbon / Chemical 2 filters
Carbon / Chemical 3 filters
Main operation controller: SW Rev 01.05.05
EDA Controller: SW Rev 01.00.02
DDC Temperature controller: SW Rev 06.00.00
Process module controller: SW Rev 01.05.05
Wafer handling controller: SW Rev 02.04.06
(2) FOUP I/O
FOUP RFID Reader
Wafer mapping sensor: F3M-S1225
FOUP Sensor: E3T-ST11
SECS/GEM Communication: SW Rev 06.01.02
Includes:
Hazardous gases
Manual
Shut off valve
Lock out / Tag out
Electrical: Lock out / Tag out
Robot: Lock out / Tag out.
KOKUSAI Quixace II NITRIDE est un four de diffusion spécialement conçu pour le traitement des nitrures. C'est un outil efficace et fiable pour le dépôt de couches de nitrure, ainsi que de divers matériaux métalliques et autres, sur des substrats. Sa conception avancée et sa structure modulaire offrent aux utilisateurs une plus grande flexibilité dans leurs processus de production. L'équipement avancé d'injection d'azote du four garantit que tous les processus de nitrure sont effectués dans l'environnement contrôlé nécessaire. Ce système est réglable et peut être adapté aux exigences particulières de chaque substrat, ce qui permet d'obtenir une qualité et une fiabilité supérieures en nitrure. L'unité assure également un contrôle précis des températures et des temps de diffusion, permettant des résultats reproductibles et cohérents. La haute performance du four est complétée par une large gamme d'accessoires polyvalents. Parmi ceux-ci, une machine de pompage rapide pour le démarrage rapide des processus, une chambre de boîte de titrage pour le recuit à haute température, et un four de boîte à couvercle pour faciliter le refroidissement rapide. L'outil de contrôle automatisé des gaz inclus offre aux utilisateurs la possibilité de préprogrammer plusieurs gaz pour les procédés de nitrure. Quixace II NITRIDE dispose également d'une gamme de fonctions de sécurité pour aider à maintenir un environnement sûr. Il s'agit notamment d'un système d'alarme multipoint, d'un modèle de diagnostic interblocage et d'un équipement de surveillance des processus. Tous ces systèmes assurent à l'utilisateur un contrôle total du four pendant les opérations de dépôt. Le four de diffusion KOKUSAI Quixace II NITRIDE est un outil avancé et fiable pour le traitement des nitrures ainsi qu'une gamme d'autres matériaux. Son système d'injection d'azote, sa large gamme d'accessoires et son fonctionnement convivial contribuent à en faire l'un des fours de diffusion les plus efficaces et les plus fiables. Associé à ses caractéristiques de sécurité disponibles, il est l'outil parfait pour une large gamme d'applications industrielles.
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