Occasion KOKUSAI Quixace Ultimate ALD SiN #293818331 à vendre en France

KOKUSAI Quixace Ultimate ALD SiN est un four de diffusion et un accessoire conçu pour la croissance épitaxiale à l'oxyde local (ALD). Cette configuration utilise l'effet piézoélectrique des films d'oxyde locaux pour délivrer des films épitaxiés de haute qualité avec des propriétés uniformes à travers la plaquette. Le four de diffusion SiN est capable de traiter jusqu'à cinq plaquettes simultanément, et peut traiter jusqu'à 1000 ° C. L'équipement est optimisé pour des films d'oxyde homogènes et une résistivité minimale à travers la plaquette. Le four de diffusion utilise l'effet piézoélectrique des enveloppes d'oxyde local pour faire pousser des films épitaxiés jusqu'à 2 microns d'épaisseur. Il est équipé d'un pas de 75mm et d'une source de chaleur à quartz pour une stabilité thermique accrue. Le mécanisme inverseur à plaques en porte-à-faux assure des films homogènes aux propriétés uniformes. De plus, le taux de croissance du film d'oxyde peut être contrôlé avec précision avec des réglages de rendement d'oxydation anisotrope (AOY) et de contrôle d'oxydation modulée (POC). Le générateur de plasma à haute énergie crée un flux de plasma très énergétique qui est collimaté à la plaquette. Ce bombardement d'ions accélère la croissance du film d'oxyde, couplé à la vitesse d'oxydation localisée de la plaquette. De plus, le four de diffusion utilise également un plasma hyperfréquence pour augmenter la vitesse d'oxydation avec un contrôle précis. Le générateur de plasma permet également au système d'obtenir des taux d'oxydation contrôlables allant jusqu'à 5000-10000 angstroms par seconde. L'unité est équipée d'une machine d'échappement spéciale conçue pour réduire la contamination de l'air. L'air est constamment aspiré à travers le four, et la pression de la chambre est constamment maintenue dans N2/H2 atmosphère, réduisant les chances de contamination par l'air. Le filtre aide également à réduire la poussière d'oxyde dans les gaz d'échappement. Le four est conçu avec un outil d'inclinaison de chambre pour permettre un accès facile à l'actif pendant la maintenance. La chambre inclinée est livrée avec un verrou de sécurité intégré, et offre un accès multidirectionnel au modèle pour l'inspection et la réparation. La technologie de pointe de Quixace Ultimate ALD SiN permet à l'utilisateur de créer des films épitaxiés uniformes de haute qualité avec une précision et une résistivité minimales. La facilité d'entretien et la conception des équipements d'échappement augmentent encore la valeur de ce système, donnant à l'utilisateur un four de diffusion efficace et fiable.