Occasion KOKUSAI Vertron DJ-803V #9233086 à vendre en France
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ID: 9233086
Taille de la plaquette: 8"
Vertical diffusion furnaces, 8"
Process: Si2N4 / Nitride
Reserved batch operation
Number of wafer / Batch: 100
Wafer shape: Semi notch
Wafer cassette: 8" Plastic
Gas box
Gas sticks:
N2
SiH2Cl2
NH3
Gas flow diagram
Heater:
(4) Heater zones
Maximum temperature: 850°C
Profile TC control thermocouple
Control thermocouple location: Between outer tube and inner tube
Boat rotation
Piezo pressure control
VG for control
Type, range: Baratron
VG for interlock
Type, range: Baratron
No SMIF Interface
No pump
No scrubber
No loadlock.
KOKUSAI Vertron DJ-803V est un four de diffusion spécialement conçu pour effectuer des processus de diffusion. Il fournit une plate-forme facile à utiliser pour le traitement de substrats à une gamme de températures sous atmosphère contrôlée. Il est largement utilisé dans les industries des semi-conducteurs et de l'électronique. Vertron DJ-803V est équipé d'un suscepteur innovant refroidi à l'eau et d'une tête de douche fixe, permettant le traitement simultané de plusieurs substrats et un traitement plus rapide. Ce type de four est le mieux adapté pour réaliser des couches de diffusion d'épaisseur uniforme continue. La grande taille du four permet également une plus grande vitesse de refroidissement pendant le processus de refroidissement, assurant le plus haut rendement de substrats. Le four Vertron est idéal pour le recuit des métaux, la diffusion des substrats, la diffusion des matériaux de revêtement et pour divers procédés en plusieurs étapes. Il offre une large gamme de températures de fonctionnement allant de 20 ° C à 1300 ° C Il est également équipé d'un équipement sous vide avancé, capable de maintenir un environnement vide propre à l'intérieur de la chambre. Pour assurer un fonctionnement efficace, KOKUSAI Vertron DJ-803V est équipé d'une puissante source d'air haute fréquence, d'un chauffage au verre à quartz hautement fiable et d'un système de pression équilibrée. Le four dispose d'une unité de contrôle automatique de la température, qui assure un contrôle précis de la température pendant tout le processus. La gamme de puissance de chauffage est comprise entre 1,5 et 15kW, fournissant un contrôle précis de la puissance. Le four Vertron DJ-803V dispose également d'une machine de commande indépendante à deux niveaux. Le premier niveau comprend un écran LCD intuitif et une mémoire de recette intégrée qui facilite le fonctionnement. Le deuxième niveau se compose d'une connexion PC et d'un logiciel, permettant de poursuivre l'installation et la programmation. KOKUSAI Vertron DJ-803V est un outil puissant et efficace pour effectuer une grande variété de processus de diffusion. Ses caractéristiques innovantes garantissent le bon déroulement de chaque processus et un excellent rendement du produit. Sa facilité d'utilisation et sa grande précision de traitement en font un excellent choix pour les procédés de diffusion industrielle.
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