Occasion KOKUSAI Vertron III / DJ-803V #9270558 à vendre en France

KOKUSAI Vertron III / DJ-803V
ID: 9270558
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1999
Vertical LPCVD furnace, 8" Process: LPCVD Nitride CX2001 System controller SECS/GEM Communication: Load station BROOKS SMIF Loader MIDAS Gas detector: Process gas detection module N2 Purged load lock WIP Carrier storage capacity: 8" Wafer spacing: 6.5 mm Load size: 125 Slots Boat rotation Furnace: CQ1501A Temperature controller (4) Zones D4EX02626 Heater: Mid temperature Process temperature: 650°C-780°C Flat zone length: 1200 mm QUARTZ Process tube material QUARTZ Wafer boat material Tube seal: O-Ring seal (Viton) Temperature control methodology: Closed loop (PID) Thermocouple type: R-Type Process gas control system: Process gases (LPCVD): HORIBA STEC Z500 MFC Process gases: DCS, NH3 Other gases: N2 Process pressure control system: EDWARD QDP80 Vacuum pump Dry pump capacity: QMB1200 Fore line size: 80 CX1204 Pressure controller Process manometer Pressure differential manometer Pump manometer Inline cold trap Exhaust controller BROOKS SMIF Loader (Left/Right): Integrated and base mounted with cassette optical light sensor detection Heater voltage: 280 VAC, Single phase, 42 K A/C Controllers: 100 VAC, Single phase, 10 K A/C Clean unit: 100 VAC, Single phase, 10 K A/C 1999 vintage.
Le four de diffusion KOKUSAI Vertron III/ DJ-803V est un équipement de diffusion polyvalent et très fiable au niveau de la production avec la qualité éprouvée de l'équipement semi-conducteur KOKUSAI. Le système dispose d'un chauffage latéral supérieur (TSH) et latéral inférieur (BSH) de haute puissance avec des températures uniformes jusqu'à 1180℃, ainsi que d'un couvercle de four chauffé, permettant une uniformité à haute température et des temps de trempe thermique rapides. L'unité de contrôle KD-101E dispose d'un écran tactile LCD facile à lire, donnant un contrôle total sur jusqu'à cinq recettes programmables et une large gamme d'options. Le four contient également deux ventilateurs de refroidissement indépendants, offrant un excellent contrôle de la température et des résultats reproductibles. En outre, le DJ-803V est équipé de dispositifs de sécurité avancés, y compris un capteur d'oxygène et l'arrêt automatique si le niveau d'oxygène tombe en dessous d'un point de consigne spécifié. La machine offre un contrôle précis de la température pour le traitement précis de toute application, y compris un film d'oxyde à haute température uniforme et une diffusion précise du phosphore. La capacité intégrée de wafer plat de KOKUSAI VERTRON III DJ-803V permet un traitement efficace et uniforme de grandes tailles de wafer jusqu'à la taille maximale de 6 "de diamètre. Le contrôle de température interne de cet outil le rend bien adapté à des applications telles que la diffusion, l'oxydation et le recuit, ainsi qu'au dopage in situ avec des résultats précis et très reproductibles. En outre, Vertron III/ DJ-803V peut être équipé de divers accessoires en option pour répondre aux besoins individuels des clients. Ces options comprennent des sources d'azote pour le nettoyage de la chambre du four, des supports de plaquettes en acier inoxydable, des dispositifs à basse température, des broches de levage lourdes, des systèmes de pression sous vide et des ventilateurs de refroidissement avancés. Les accessoires optionnels rendent l'actif très polyvalent et capable de traiter une variété de besoins de traitement. VERTRON III DJ-803V est un modèle idéal pour les diffusions à basse et haute température, ainsi que pour les besoins de fabrication d'appareils. Les performances fiables et constantes de cet équipement de diffusion en font une solution rentable au niveau de la production, à la hauteur de la précision et de la qualité du traitement de diffusion.
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