Occasion KOKUSAI Vertron III / DJ-803V #9272701 à vendre en France
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ID: 9272701
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1999
Vertical diffusion furnace, 8"
Process: LPCVD Nitride
CX2001 System controller
SECS/GEM Communication: Load station
Load station:
BROOKS SMIF Loader
WIP Carrier storage capacity: 8"
MIDAS Gas detector: Process Gas detection module
Wafer spacing: 6.5 mm
Load size: 125 Slots
Boat rotation
No N2 purged loadlock
Furnace:
CQ1501A Temperature controller
(4) Zones
D4EX02626 Heater: Mid temperature
Process temperature: 650°C-780°C
Flat zone length: 1200 mm
QUARTZ Process tube material
QUARTZ Wafer boat material
Tube seal: O-Ring seal (Viton)
Temperature control methodology: Closed loop (PID)
Thermocouple type: R Type
Process gas control system:
Process gases (LPCVD):
HORIBA STEC Z500 MFC
Process gases: DCS, NH3
Other gases: N2
Process pressure control system:
Vacuum pump: EDWARDS QDP80
Dry pump capacity: QMB 1200
Fore line size: 80
Pressure controller: CX1204
Pressure control methodology: Close loop (PID)
Process manometer
Pressure differential manometer
Pump manometer
Inline cold trap
Exhaust controller
BROOKS SMIF Loader (Left/Right):
Integrated and base mounted with cassette optical light sensor detection
Heater voltage: 280 VAC, Single phase, 42 K A/C
Controllers: 100 VAC, Single phase, 10 K A/C
Clean unit: 100 VAC, Single phase, 10 K A/C
1999 vintage.
KOKUSAI Vertron III/ DJ-803V est un four de diffusion avancé et un équipement d'accessoire, conçu pour le contrôle précis et précis des températures dans un large éventail d'industries. Il dispose d'une chambre haute température avec un contrôle avancé de la température en boucle fermée pour un contrôle précis des températures, ainsi que d'un système de mesure de la réponse thermique haute précision et haute vitesse. KOKUSAI VERTRON III DJ-803V est conçu avec une conception de circulation d'air forcée très efficace, qui assure une diffusion thermique stable et rapide même avec des températures différentes produites par l'unité de chauffage. Cette technologie de pointe permet également un fonctionnement efficace dans la gamme de 5 ~ 1400 ° C et une large gamme de réglages de modes de chauffage, tels que les modes impulsionnels continus et accumulatifs. Il dispose également de plusieurs modes de contrôle thermique supplémentaires, tels que la température constante et un réglage programmable de température contrôlée dans le temps, pour donner aux utilisateurs un meilleur contrôle sur les processus thermiques. Vertron III/ DJ-803V est livré avec une variété d'accessoires pour améliorer l'expérience utilisateur. Il comprend deux plaques de quartz et un bateau à quartz en alumine pour un chauffage fiable des échantillons. Le four est également équipé d'un écran LCD pour permettre aux utilisateurs de surveiller la température et le processus, ainsi que d'un équipement d'enregistrement des données pour stocker les données et les paramètres du programme. En outre, ce four de diffusion comporte également une unité d'alarme pour alerter les utilisateurs en cas de décalage de température inattendu ou dangereux. Ce four de diffusion avancé et accessoire est conçu avec une empreinte puissante, mais compacte, ce qui le rend facile à installer et à entretenir. Les matériaux de haute qualité utilisés dans sa construction offrent une durabilité et une fiabilité accrues. Il est également très économe en énergie, grâce à sa conception efficace de circulation d'air forcé, le corps de four à quatre faces aidant à maintenir la température constante, même dans les températures extrêmes. VERTRON III DJ-803V est un choix idéal pour les industries et les applications nécessitant un contrôle précis de la température. Il est très fiable, précis et économe en énergie, et est livré avec une grande variété d'accessoires pour rendre le processus plus facile et rapide. La conception très efficace de la circulation d'air forcé, avec son corps de four à quatre faces et le contrôle avancé de la température en boucle fermée, font de cet outil de four de diffusion un excellent choix pour les industries de haute précision.
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