Occasion KOKUSAI Vertron III #9078066 à vendre en France
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ID: 9078066
Style Vintage: 1998
Vertical diffusion furnace
VDF-CVD-NITRIDE
1998 vintage.
KOKUSAI Vertron III est un four de diffusion, conçu pour le dépôt ultra-haute précision sous vide d'une large gamme de matériaux. Cet équipement polyvalent et robuste fournit des performances fiables pour des applications critiques dans la fabrication de semi-conducteurs et de dispositifs MEMS. Vertron III (KV3) a une plage de température de 700 ° C à 1100 ° C Il est équipé d'un bouclier de sécurité en zircone, ce qui lui permet de maintenir une atmosphère ultra-vide en fonctionnement. Ce blindage spécial lui permet d'atteindre de faibles niveaux de contamination et un faible taux de particules nécessaires au dépôt de matériaux à haute et basse température. Le système est également doté d'un certain nombre de fonctions de contrôle, telles qu'une unité de contrôle des températures de réaction à haute température -Quench- Transporteur (RQT), ainsi qu'un programme de contrôle des zones à températures multiples pour contrôler séparément différentes couches de matériaux et une plage de température de plus de 200 ° C en une seule opération. La machine comprend également un panneau de réception de l'atome de débordement à haute température (OARP), capable de fonctionner à des températures supérieures à 1100 ° C, contribuant ainsi à assurer des résultats de dépôt uniformes. L'outil dispose également d'un chargeur automatique de transport de plaquettes, permettant le chargement et le déchargement automatisés et d'un atout d'alimentation basse pression pour la filtration du gaz porteur. En outre, le modèle est également équipé d'un équipement de contrôle automatique des dépôts (ADCS), fournissant un contrôle précis de l'épaisseur du film et assurant des processus de dépôt stables. Un système de mesure en temps réel de haute précision est également intégré, permettant des résultats rapides, précis et cohérents. Une unité de régulation de la température est également incluse dans la machine, créant un profil de température bien équilibré à travers l'outil et assurant des résultats de dépôt uniformes. KOKUSAI Vertron III est adapté à l'utilisation dans les systèmes à ultra-haut vide et permet la production de revêtements métalliques et non métalliques sur une grande variété de substrats. Il est équipé de nombreuses caractéristiques de pointe qui le rendent capable de produire des dépôts de haute précision et est le choix parfait pour les fabricants à la recherche de la combinaison parfaite de performance et de qualité.
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