Occasion MRL 1148G2 #9192211 à vendre en France

MRL 1148G2 est un four de diffusion et des accessoires conçus pour la production de plaquettes de silicium de première qualité. Ce four est constitué d'une chambre de chauffage en alumine, olivine ou graphite. Il a une température maximale de fonctionnement de 1800 ° C, et fournit un faisceau d'électrons avec une puissance allant de 15kW à 19kW. Les commandes programmables intégrées permettent à l'utilisateur de sélectionner les paramètres de processus désirés pour une grande répétabilité du processus de diffusion. Le pyromètre infrarouge intégré assure une température de l'échantillon uniforme tandis que le débitmètre d'oxygène interne aide à maintenir l'atmosphère du processus de diffusion souhaité. La LMR 1148 G2 comprend également un procédé de refroidissement rapide pour éviter la formation d'oxydes fragiles et de contraintes pendant le processus de diffusion, et un bulleur de quartz pour surveiller l'atmosphère du processus de diffusion. Le bulleur de quartz est utilisé pour détecter l'atmosphère contrôlée souhaitée dans la chambre de procédé et délivre un flux continu d'oxygène. Outre le four de diffusion, un suscepteur de graphite et un guide de plaquettes de quartz sont également inclus. Le suscepteur inclus avec 1148G2 assure un chauffage uniforme de la plaquette pendant le processus de diffusion. Le guide de plaquettes de quartz assure un maintien fiable de la plaquette de silicium à l'extrémité inférieure du suscepteur pendant tout le processus. La possibilité de replacer le suscepteur dans le four permet une diffusion multiple, unique ou spéciale de plaquettes. 1148 G2 est conçu avec des caractéristiques de sécurité incluant une barrière d'isolation thermique sous vide pour maintenir l'efficacité du processus tout en évitant de nuire à l'utilisateur. Le débitmètre d'oxygène ferme également le flux de gaz lorsqu'aucun oxygène n'est détecté, ce qui empêche toute explosion ou incendie dangereux. Cette barrière d'isolation thermique et l'arrêt de l'oxygène permettent en outre de refroidir la plaquette une fois le processus de diffusion terminé. MRL 1148G2 est certifié Energy Star, nécessitant moins d'énergie pour achever le processus de diffusion que pour les autres fours de diffusion. Le système intégré de refroidissement en poudre empêche également toute formation d'oxydes indésirables ou d'impuretés chimiques pour assurer un résultat parfait à la fin du processus de diffusion.