Occasion MRL MDL 1148 #9170550 à vendre en France
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ID: 9170550
Diffusion furnace
Welded frame construction with antique white painted frame and panels
Front access through swing out bi-fold doors
Element on center lines, 19"
Service access: Tilt down front instrument panels
Internal round electro polished scavenger with individual tube level exhaust
Stainless steel tube: Diameter, 3"
R Spike for temperature control
Redundant excess temperature interlock
Air to water heat exchanger
Fan cooling module on top
Auxiliary power requirements: 120 V Step-down transformer
Furnace control power back-up: UPS
(6) Leveling feet
Heating elements (Tube 2, 3 and 4):
(3) Zones element
Linear thermal flat zone, 48"
Element uniformity:
+/- 1.0°C Below 600°C across linear flat zone
+/- 0.5°C Above 600°C across linear flat zone
Insulation / Energy kits are included per tube level
Load and source end blocks
Soft tube collars
Soft heat disks
Load station:
Welded frame construction with antique white painted frame and access panels
Mirror polished finish on work surface
Pullout drawers in load station base
Horizontal laminar flow with fire retardant, Class I HEPA filters
Variable speed blowers to supply air flow to HEPA filters
Front access laminar flow pre-filters
Channels on back wall allow universal mounting of cantilevers
(6) Leveling feet
Auxiliary power requirements: 110 V Outlets
Gas Plumbing Module (GPM):
Welded frame construction with antique white painted frame and access panels
(4) Stainless steel tube level shelves
Side and front access through clear vented lexan doors
(4) Leveling feet
Gas trays are mounted vertically, facing front
Main breaker and tube breaker with lock out tag out capability located in base
Element MRL MaGnA Maximum operating temperature: 1100°C
Process tube: Quartz process tube
Carriers: Quartz
Baffles: Non-product boats on load
Source end of product wafers
Load baffles: Quartz 3 plate paddle shank
Profile TC: Type R
3-Junction
Source entry
SiC Paddle: 2" Square shank, slotted
Gas tray:
(4) AERA Analog mass flow controllers (MFCs)
Nitrogen (N2), High flow
Nitrogen (N2), Low flow for carrier gas (POCL3)
Oxygen (O2), High flow
Oxygen (O2), Low flow
N2 Loop with fixed orifice
Normally open valve is provided during power fail
Pressure switch with gauge on carrier N2 per bubbler system
Bubbler assembly for POCl3 (Tube level 2, 3 and 4):
JC SCHUMACHER ATCS-15 Source temperature controller
Gas tray to bubbler to process tube: Teflon connections / Valves
Chemical ans flask
MRL Z3 Cantilever belt drive (X 3, tube 2, 3 and 4):
Box beam backbone for overall drive support
Precision linear rail providing smooth ride
(2) Profile linear bearings
Front and rear sprocket with non-particulate ladder chain
360:1 Gear reducing DC motor: 24 V
Local and remote modes of operation:
System DDC
Cantilever control box
Power supply
Digital drive controller
With Load / Unload / Stop / Local
Remote switches
Thumb wheel speed buttons
Load and unload approach photo sensors
With pre-dwell
Post-dwell prior to door closure
Boat out complete
Backside mounting
Diagnostic LED’s within power
Interconnecting cable
(3) MRL Z2 atmospheric head assemblies (Tube 2, 3 and 4)
SAINT GOBAIN Square shank SiC paddle compatible, 2"
(2) Self aligning top and bottom head assemblies
(3) Clamping assembly to secure door assemblies
Adjustable pivot pin
Paddle containment tube with torque sensitive paddle lock
Quartz door closure
SST Scavenger closure plate
Dual quartz rods with teflon retainers housed in a SST clamping tube assembly
5 Axis of adjustment
Designed for tool less head and door removal
(3) MRL Tube level controllers (Tube 2, 3 and 4)
(15) Valves on / Off
(8) MFC's to one of 4 values
(3) Zones of heat to 1 of 8 temperature
Temperature control mode: Spike or profile
(7) Front panel outputs (Lights / Horn)
Programmable step exits from one or more of following
On time (Hours: minutes: seconds)
On (12) Programmable digital inputs
On analog input (Temperature or gas) programmed value
On leak check
On profile completed
On complete boat-in or boat-out (for auto load only)
(3) Independent temperature control loops:
Direct digital temperature control
(8) Set points per loop
Programmable alert / Alarm deviation limits
Spike control mode with programmable PID coefficients
Profile control mode
(15) Valve outputs:
Designed to drive pneumatic solenoid directly (5 watt)
24 VDC Supplied with system
(8) Analog (MFC) loops:
Designed for direct interface to standard MFC's
(4) Set points per loop
Programmable alert / Alarm deviation limits
Step redirect:
(8) Redirect destinations
Programmed based on various combinations:
Digital inputs
Temperature alarms
Gas alarms
Human machine interface
HMI Color touch screen per tube level
Spare parts included:
Fuse set
Indicator light and lens set
SCR Firing card
Temperature controller 1/32 din
(2) Dual junction spikes t/c type R
Tri junction type R profiles t/c
Load end vestibule block
Source end vestibule block
Load end soft collar
Source end soft disk
Quartz process tube
(4) Quartz boats
Quartz door closure
(2) Quartz nails
(2) Quartz nail sleeves
Quartz door seal
(2) Soft O’Rings for quartz door seal.
MRL MDL 1148 est un four de diffusion et des accessoires conçus pour une diffusion efficace et précise des matériaux. Le four est adapté au recuit, à l'alliage et au revêtement de différents métaux. L'emballage spécialisé se compose d'un système de zone thermique en graphite avec une alimentation électrique conçue pour un contrôle de la température et de la précision. Le four lui-même est dimensionné à 91 cm de large, 55 cm de profondeur et 137 cm de haut. Il a une chambre de travail de 78 cm de diamètre et 89 cm de profondeur, avec la capacité d'accepter des charges allant jusqu'à 150 kg en poids. La plage de température contrôlée se situe entre 2000 ° C et est maintenue avec un degré élevé de précision et d'uniformité. Le chauffage se fait par 8 fours de zone externe, chacun avec sa propre porte de levage verticale indépendante. Les températures de zone réglables indépendamment sont alimentées par une alimentation de 400 ampères thyristor et elles sont conrolled numériquement avec des consignes et des corrections via un contrôleur de processus à quatre canaux. Le four est équipé d'un ensemble d'isolation en fibre de verre à double paroi qui aide à prévenir les pertes de chaleur et maintient l'extérieur propre. Il y a également une section supplémentaire de 2 mètres de long des éléments chauffants en graphite avec une enveloppe de refroidissement économe en énergie pour assurer un fonctionnement efficace et éviter que l'isolation ne se détériore. L'emballage comprend également des accessoires tels qu'un dispositif de régulation de la température, des blocs fractionnés en graphite, des outils de maintenance et des ensembles de fils. Les blocs divisés et l'ensemble de fils permettent un transport facile, efficace et sûr du four de diffusion d'un endroit à l'autre, ainsi qu'une protection contre la poussière et la saleté. Des accessoires supplémentaires tels qu'un ventilateur de refroidissement, des coupures électriques de secours, des dispositifs de sécurité du débit de gaz et des systèmes de refroidissement d'urgence sont disponibles au besoin. Dans l'ensemble, le four de diffusion MDL 1148 est extrêmement durable et fiable, offrant une solution complète et abordable pour la diffusion des matériaux. La conception fiable, le contrôle précis de la température et une large gamme d'accessoires en font un excellent choix pour le recuit, l'alliage et le revêtement de différents métaux.
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