Occasion POLYFLOW EP-C05 #9014479 à vendre en France

POLYFLOW EP-C05 est un four de diffusion et des accessoires fabriqués par POLYFLOW Corporation. Il est conçu spécifiquement pour la fabrication de puces semi-conductrices. Le four de diffusion est équipé d'une zone chaude haute pression pouvant atteindre des températures allant jusqu'à 1400 ° C (2550 ° F). Cela le rend idéal pour les applications à haut rapport d'aspect (HAR) telles que le dopage de puits, les arrêts de canaux efficaces, les profils de puits verticaux, la formation de gaufres et les profils d'émetteurs sélectifs. Cet équipement permet un contrôle précis de la température et du temps des processus de dopage, ce qui conduit à des puces de qualité supérieure avec moins de défauts induits par la contrainte. La zone chaude est scellée et refroidie par une paroi refroidie à l'eau et une boucle d'ammoniac haute pression qui permet une trempe rapide et empêche la contamination de l'atmosphère. Le four dispose également d'un environnement sans oxygène pour augmenter la pureté, l'uniformité et le rendement. Un système breveté de capteurs de flux d'oxygène fournit un retour en temps réel des paramètres du processus et aide à éliminer les défauts de métallisation post-processus. En plus du four de diffusion, EP-C05 comprend également une variété d'accessoires. Le premier est un module RTP, qui se compose de plusieurs têtes quenchmantes avec des capacités de contrôle de cycle automatisé. Ceci garantit des vitesses de chauffage et de refroidissement uniformes et un contrôle précis de la température permettant un dopage plus précis et fiable des plaquettes. La seconde est un mécanisme de commande de hauteur avancé, qui maintient le substrat à une distance précise et réglable de la plaquette, permettant une homogénéité précise des étapes ultérieures du processus. D'autres accessoires comprennent une caméra Web intégrée pour la surveillance des processus en temps réel, le partitionnement des outils individuels pour améliorer le contrôle de la dérive et réduire la variation des plaquettes par rapport aux plaquettes, et une variété d'adaptateurs de plaquettes pour des opérations efficaces. De plus, la machine utilise un quartz stable à faible émissivité pour une stabilité thermique supérieure lors des processus de diffusion. Combinées, ces caractéristiques et accessoires font de POLYFLOW EP-C05 le four de diffusion idéal pour toute application de fabrication de puces.