Occasion SEMITHERM / SEMITOOL VTP 1500 LH #9025672 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 9025672
LPCVD Reactor furnace
Control unit
Manual
Facility requirements:
Furnace: 150 Amps
Vacuum pump: 150 Amps
Nominal voltage: +/- 15%
Nominal frequency: +/- 5%
Exhaust:
Furnace cabinet exhaust: 10" Duct
Minimum pressure: (-.5 in) at 900 CFM
Gas cabinet: 6" Duct
Minimum pressure: (-.5 in.) at 250 CFM
Process chamber:
1/2" Swagelock:
Minimum pressure: (-.5 in.) at < 1 CFM
3/4" Swagelock
Minimum pressure: (-.5 in.) at 5 CFM
Vacuum:
Wafer handling: 1/4" Swagelock - 24" HG static
Cooling water:
Cannister and baseplate:
1/2" Swagelock - 2 GPM at 20 psi inlet to outlet differential pressure
Maximum differential pressure: 40 PSI
Maximum inlet pressure:100 PSI
Swagelock return line, 1/2"
Drains:
Acid drain (Optional on wet ox)
Teflon tubing: 1/2"
Clean dry compressed air:
1/2" Swagelock - 80 PSI Minimum
5 CFM: Typical
20 CFM: Peak (100 PSI Max)
5 CFM Used for pneumatic control
15 CFM Used for element / Jar movement
Nitrogen - non process:
1/2" Swagelock - 80 PSI Minimum
5 CFM: Typical
30 CFM: Peak (100 PSI Max)
5 CFM: Baseplate (Used at high temp only)
25 CFM: Furnace filter (Used only when filter or fan fails)
30 CFM: Non-process nitrogen
Power supply: 208 V, 3-Phase, 60/60 Hz, 150 A.
SEMITHERM/SEMITOOL VTP 1500 LH est un four de diffusion qui est équipé d'un design à faible foyer pour les pièces plus petites et un design à grand foyer pour les pièces plus grandes. Il est idéal pour la production en série de plaquettes semi-conductrices. Le four de diffusion est conçu avec un contrôle de la température de plusieurs zones, donnant aux utilisateurs un contrôle précis sur leur traitement thermique. Cet équipement dispose de capteurs de température intégrés qui permettent un niveau plus élevé de précision et de reproductibilité dans chaque zone. Le système dispose également d'une capacité de trempe à basse température et d'une programmation avancée du four, qui fournissent tous deux un contrôle optimal du four. En outre, SEMITOOL VTP 1500 LH comprend plusieurs accessoires pour une meilleure commodité d'utilisation. La manipulation de la charge est facilitée avec les systèmes de levage articulés et manuels inclus, qui peuvent être utilisés pour déplacer rapidement et en toute sécurité les pièces dans le four. Un ventilateur de convection horizontal permet d'assurer une bonne circulation de l'air et un chauffage uniforme dans tout le four. Les utilisateurs ont également la possibilité d'ajouter un ventilateur-obturateur automatisé, la machine à cloche de commande de mouvement, lehr, et d'autres accessoires pour plus de précision. Ce four de diffusion durable et fiable offre également plusieurs caractéristiques de sécurité, telles qu'un outil sous pression, des tuyauteries à double paroi et des charnières de portes lourdes. L'actif a une température maximale de fonctionnement de 1400 ° C, et ses éléments chauffants sont faits d'un alliage avancé qui peut supporter des températures extrêmes. Un panneau de commande moderne permet aux utilisateurs de gérer avec précision tous les réglages et toutes les opérations du four. Dans l'ensemble, SEMITHERM VTP 1500LH est un four de diffusion avancé qui est parfait pour la production de semi-conducteurs à grande échelle. Son contrôle de la température à plusieurs zones, ses capteurs de température intégrés et ses capacités de trempe à basse température confèrent aux utilisateurs une précision et une reproductibilité inégalées. Le modèle dispose également de plusieurs fonctionnalités conviviales telles que les systèmes de levage articulés et manuels, l'équipement automatique ventilateur-obturateur, lehr, et plus encore. Enfin, ses éléments chauffants de haute qualité et ses caractéristiques de sécurité font de VTP 1500LH un four de diffusion fiable et durable.
Il n'y a pas encore de critiques