Occasion SVG / THERMCO 5100 #9265353 à vendre en France
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ID: 9265353
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2001
System, 6"
2001 vintage.
SVG/THERMCO 5100 est un four de diffusion et un accessoire fabriqué par SVG, Inc.designed pour fournir un contrôle précis des processus de diffusion des plaquettes. Cet outil est un système de laboratoire avancé qui est utilisé pour la recherche et le développement (R-D) et pour la diffusion à haute température et les procédés de recuit. Il s'agit d'un four horizontal multi-zones qui offre une large gamme de caractéristiques, y compris une capacité à haute température, un contrôle précis de la température et plusieurs configurations. Ce four horizontal est composé d'une coque isolante intérieure, d'une structure extérieure de boítier et d'une section de chauffage multi-zones. Il comprend également un couvercle de décollage (LFC) et un mécanisme de soufflet pour un fonctionnement efficace du soufflet et un excellent contrôle de l'uniformité. Le LFC permet d'assurer un faible taux de particules et des températures de processus uniformes. Le SVG 5100 est équipé d'un contrôleur numérique CRIUS et d'un contrôleur logique programmable (PLC) pour un contrôle précis et en temps réel de la température. Le contrôleur numérique CRIUS permet la mise en place et la surveillance des réglages de température clés et la lecture en temps réel des paramètres de fonctionnement réels du four. Le CCP fournit les ajustements de processus pour l'uniformité et la répétition des données et établit les profils thermiques requis pour le four. Ce four comporte une zone de chauffage qui comprend deux éléments de quartz infrarouge pour l'uniformité de température sur toute la largeur de la plaquette. Il comporte également des éléments de protection, appelés emboîtements de sécurité électrique qui évitent des dommages accidentels à l'outil. Enfin, le module sophistiqué de régulation de température optimise encore l'uniformité des températures dans les zones chauffées. THERMCO 5100 dispose également de contrôles de sécurité environnementale conçus pour améliorer la durée de vie des fours. Un système de purge des gaz inertes permet l'introduction d'azote, d'argon, d'hydrogène, d'hélium ou d'un autre gaz inerte pour assurer une protection efficace contre l'oxydation et la contamination. Ce système garantit les normes les plus élevées de sécurité, de propreté et de répétabilité des processus pendant de longues périodes. Cet outil de diffusion et de recuit à haute température abordable et efficace de THERMCO, Inc est idéal pour produire une uniformité et une précision des plaquettes hautement acceptables pour des applications à haut volume telles que l'emballage semi-conducteur, l'intégration MEMS et Nanochip. Son contrôle fiable de la température, son excellente répétabilité des procédés et ses caractéristiques de sécurité environnementale font du 5100 un excellent choix pour les laboratoires de recherche et développement lorsque la qualité et la précision sont extrêmement préoccupantes.
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