Occasion SVG / THERMCO / AVIZA 5000 #9195863 à vendre en France
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ID: 9195863
Diffusion furnace
Bank 2: Boron atmospheric with torches
Bank 9:
BL Drive
BL
Drive
POCl3
POCL3
(2) Torches
(2) Bubblers.
SVG/THERMCO/AVIZA 5000 est un four à diffusion haute performance et des accessoires pour la fabrication de semi-conducteurs. Le four est conçu pour des procédés contrôlés de diffusion, de recuit et d'oxydation. Il dispose d'une conception et d'une flexibilité de traitement avancées, permettant un contrôle précis de la température et une excellente uniformité de température sur toute la masse thermique. Sa construction avancée à double chambre, avec une chambre de transfert de billettes chauffées, assure une isolation et un contrôle maximaux de l'environnement thermique ainsi qu'une uniformité de processus supérieure. Le SVGTSVG 5000 est équipé d'un suscepteur haute performance, entouré d'un seul insert creuset et d'une veste isotherme, permettant un contrôle précis de la température et une réduction de l'encrassement thermique. Le four comprend des systèmes de pompage automatisés et manuels, du gaz inerte contrôlé électroniquement et des capacités avancées de surveillance de la température et de la pression. Le four dispose également d'un chauffage programmable à 5 zones, permettant un contrôle précis de la température jusqu'à 2000 ° C Les zones de chauffage sont divisées en trois zones intérieures et deux zones extérieures, offrant une uniformité de température optimale et un contrôle ainsi que des gradients réduits. Les zones intérieures réglables et programmables indépendamment sont conçues pour réduire les temps de transfert thermique et produire des performances plus cohérentes. Le four comprend également une gamme de fonctions de processus supplémentaires telles que la surveillance avancée de la sécurité et les capacités d'alarme, y compris le contrôle de la température PID et la protection contre les températures excessives. De plus, le four comprend un système de purge/réduction de l'oxygène, permettant un contrôle efficace du processus d'oxydation. Pour garantir des performances répétables et des résultats cohérents et fiables, le four est construit avec un système d'isolation et de refroidissement avancé. La construction comprend une chambre isolée modulaire double remplie d'époxy et un système de refroidissement PCR intégré qui assure un refroidissement uniforme sur toute la masse thermique. L'isolation offre une meilleure uniformité de température dans la chambre de procédé et un refroidissement efficace, contribuant à assurer la performance du processus reproductible même aux réglages de température les plus élevés. Le four est facile à utiliser, avec une grande interface à écran tactile offrant une gamme de fonctions de processus avancées, une programmation et un contrôle intuitifs, des systèmes automatisés de manutention des plaquettes, et une surveillance et un diagnostic en ligne. L'interface utilisateur est conçue pour une utilisation facile, avec des contrôles intuitifs et des affichages qui le rendent facile à créer, surveiller et ajuster les recettes. Le four est conçu pour des applications de production et de recherche exigeantes, offrant des performances rapides, répétables et fiables.
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