Occasion SVG / THERMCO / AVIZA 5204 #9043980 à vendre en France

SVG/THERMCO/AVIZA 5204 est un four de diffusion et un équipement accessoire idéal pour les applications de traitement des plaquettes dans l'industrie des semi-conducteurs. Ce système assure un contrôle optimal de la température et une uniformité pour obtenir des performances optimales du dispositif. La taille de la chambre est de 375x350x250 mm, et la chambre peut atteindre des températures jusqu'à 1150 ° C SVG 5204 dispose d'une unité de chargement de plaquettes personnalisée et d'une cassette interne à la machine de transport de cassettes. Le capteur de température interne assure la précision et contrôle les profils de température. Le temps de diffusion radiale est simple à établir et offre une grande répétabilité. D'autres caractéristiques incluent une chambre PAL (Precision Swing Arm Load Lock), un fascia céramique de haute qualité, un circuit de contrôle de puissance à l'état solide et un contrôle PID avec l'outil AutoTune. L'élément chauffant de AVIZA 5204 est un élément de résistance électrique à la masse avec une résistance de 1 ohm par élément. Ceci assure une répartition égale de la température dans la chambre. Le régulateur de température est précis et cohérent tout au long du processus. Il existe également un bouclier de captage thermique indépendant entre les éléments chauffants et la chambre pour améliorer la sécurité et la précision de la température. Le four de diffusion comporte également une buse de distribution de gaz pour un débit de gaz uniforme. Il dispose d'un soufflet en acier inoxydable pour la circulation des gaz, ainsi que d'un interrupteur de marche/arrêt séparé pour le ventilateur d'échappement. Le ventilateur peut être ajusté à la vitesse désirée pour un rendement maximal. L'ordinateur de bord surveille et enregistre également toutes les données pour assurer le contrôle et la traçabilité. En outre, 5204 accessoires comprennent un suscepteur de graphite, des câbles de procédé dynamique à haute température, des brides de procédé à haute température et un bouchon de procédé agressif à basse température. Chaque accessoire sert un objectif important dans la conception globale de l'actif du four. THERMCO 5204 assure des résultats précis, cohérents et reproductibles tout au long du processus de fabrication des plaquettes. C'est un choix idéal pour les fabricants de semi-conducteurs et les laboratoires de recherche qui recherchent des solutions fiables, efficaces et rentables.