Occasion SVG / THERMCO / AVIZA AVP 8000 #9172756 à vendre en France
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Vendu
ID: 9172756
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2002
Vertical LPCVD furnace, 8"
SELOX
Process type: Selective oxidation
System interface:
Computer: Sun ultra 5
System software: AVP Software version 2.6.1
Printer assy: No
Interlock test procedure: TBD
AC Power input options and line frequency: 480 VAC, 3 phase, 60 Hz
Wafer type: Notch
SMIF: No
Cassette type: Entegris
Cassette model: KA202-80SH-47C02
Carousel:
(16) Cassettes
(2) Levels
Wafer counter: Present
End effector type: Optical sensor
Includes:
Post process exhaust burning unit
Heater element:
(5) Zones
Mid temp
P/N: 602783-08
Torch assy:
P/N: 172441-003
Torch spike TC:
P/N: 739655-001
Torch injector TC:
P/N: 739603-001
Thermo-couple type: R
Profile:
P/N: 910601-001
Spike:
P/N: 103365-01
Over temp:
Zones: 1-4
P/N: 103281-01
Over temp:
(5) Zones
P/N: 103365-01
Scrubbed exhaust: 4" Bottom
Cabinet (non-scrubbed) exhaust: 6", top
Door oring: Face seal / O-Ring
P/N: 105640-02 / 781053-003
TCA Controller: No
Door: Stainless steel door
P/N: 601486-02
Quartz:
Tube: Dual-wall
(1) Piece
P/N: 105678-01
Liner: No
Silicon carbide element liner: No
Quartz boat: No
Silicon carbide boat: Present
P/N: 109085-03
Pedestal assembly: Present
P/N: 108930-01
Silicon carbide baffle: Present
P/N: 109086-01
Quartz crossover: No
Quartz external Ox (Troch) chamber:
(1) Piece
P/N: 815016-665
Torch assy: External
Exhaust elbow: Present
P/N: 105936-01
TC/Seath: Integrated into quartz tube
Gas panel: Gas schematic
Gas panel:
P/N: 606820-01 Rev: 4
P/N: 606821-01 Rev: 5
MFC Type: Unit 1660 / Tylan FC 2900
N2 Dilution: 500 SLPM (Oriface)
H2 Low MFC: (1) SLPM
P/N: 910459-146
H2 High MFC: (30) SLPM
P/N: 910459-155
Purge N2 MFC: No
UHPO2 MFC: (3) SLPM
P/N: 910459-154
UHPN2 Low MFC: (2) SLPM
P/N: 908165-012
UHPN2 High MFC: 30 SLPM
P/N: 910459-009
Gas filter size / Type: Wafer guard
P/N: 907063-010, 001
Gas panel N2 pressure gauge size / Type:
Span pressure transducer: 0 - 250 psia
P/N: 701990-003, 002
P/N: 1-909909-001
Gas panel O2 pressure gauge size / Type:
Span pressure transducer: 0 - 250 psia
P/N: 710990-002
Gas panel H2 pressure gauge size / Type: No
P/N: 701990-003
Gas panel N2 size / Type: No
P/N: 710990-002
Gas panel N2 regulator size / Type:
Tescom: 0-60 psig
P/N: 1-908552-001
Gas panel O2 regulator size / Type:
Tescom: 0-60 psig
P/N: 1-908552-001
Gas panel H2 regulator size / Type:
Tescom: 0-60 psig
P/N: 1-908552-001
Gas panel N2 regulator size / Type:
Tescom: 0-60 psig
P/N: 1-908552-001
Boat area N2 purge: Flow control
Carousel area N2 purge: Flow control
Pressure settings:
UHPN2: 45 ± 10 psig / (55) SLPM
UHPO2: 45 ± 10 psig / (3) SLPM
N2 Purge: 45 ± 10 psig / (30) SLPM
H2: 45 ± 10 psig / (30) SLPM
N2 Dilution: 60 +5, -0 / (500) SLPM
N2 Automation: 100 psig
2002 vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA AVP 8000 est un équipement de four de diffusion conçu pour une variété de procédés de recuit et de diffusion dans la fabrication, la recherche et le développement et les applications industrielles. Le système est disponible en différentes configurations et tailles, selon la taille et le type de processus requis. Les caractéristiques de l'unité comprennent un capacitif de charge jusqu'à 30kg, une taille de chambre jusqu'à 38 x 66 x 23, une plage de température de 10 à 1000 ° C, une uniformité de température élevée ± 1 ° C et une précision ± 1 ° C La machine comprend également des régulateurs de température programmables, des taux de rampe programmables, un contrôle de consigne et une capacité de refroidissement. SVG AVP 8000 famille de systèmes comprend également une variété d'accessoires, tels qu'un tube de protection à quartz, un spinner, un moniteur de température, une pompe à vide, une jauge de vide, et une variété de capteurs, tels que pyromètres, thermocouples, pyromètres à rayonnement et thermocouples de gaine. L'outil dispose également d'une variété de plates-formes de processus, comme une seule plaquette, plusieurs plaquettes, lot et continu. L'actif dispose d'un modèle de chargement à chaud à ultrasons, ouverture et fermeture automatiques des portes et capacité d'alimentation en hydrogène. L'équipement dispose également d'une capacité de purge de l'oxygène, ce qui aide à éliminer les fausses lectures causées par les contaminants environnementaux. Le système dispose également d'un cycle de refroidissement intégré pour éviter la surchauffe et la fusion des matériaux. L'unité dispose également d'un contrôle de flux, qui permet à l'opérateur d'ajuster la quantité de flux utilisée pour le processus de diffusion. La machine peut être actionnée à distance avec une variété d'outils de support, tels que le logiciel PV-Pro. Le logiciel fournit une interface utilisateur graphique qui permet aux utilisateurs d'accéder aux données de performance et d'état de l'outil, ainsi qu'aux processus de programme et de surveiller la performance des actifs. Le logiciel comprend des informations sur les alarmes et les erreurs, ainsi que l'enregistrement des données, qui peuvent être utilisées pour examiner la performance du processus. Le modèle comprend également un journal de données intégré, qui comprend toutes les données enregistrées au cours du processus, y compris l'utilisation du matériel, les profils de température, les consignes, les paramètres et les résultats. Les données peuvent être utilisées pour examiner la performance du processus et optimiser le processus pour une utilisation future. L'équipement est conçu pour répondre aux exigences de sécurité de diverses applications, telles que l'Institut de la climatisation, du chauffage et de la réfrigération (AHRI), l'Institut des ingénieurs en électricité et en électronique (IEEE) et l'Association internationale des instruments de sécurité (SIA). En outre, le système est conçu pour un accès à distance via la connexion Ethernet, qui permet la communication des données de l'unité à d'autres systèmes. La machine dispose également d'une large gamme d'accessoires, tels que des volets, des boucliers thermiques et des boucliers, qui permettent à l'opérateur de protéger l'outil et de permettre un fonctionnement efficace.
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