Occasion SVG / THERMCO / AVIZA RVP 9000 #293804381 à vendre en France
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ID: 293804381
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2001
Vertical LPCVD Furnace, 8"
Main frame
AC Transformer rack
Cable
Heater
Top core assy
Miscellaneous parts
MKS 600 Series TV Controller
MKS 628F 2 Torr C/M
Smoke detector
UPS
Cables
Gas panel (FC-7800CU):
Line / Gas / Flow rate
1 / N2 / 5 SLM
2 / He / 500 SCCM
3 / He / 500 SCCM
4 / BCL3 / He / 100 SCCM
5 / Multi / 4 -1000 SCCM
6 / GEH / 4 - 200 SCCM
7 / SiH / 4 - 200 SCCM
8 / SiH / 4 - 200 SCCM
9 / N2 / 2 SLM
10 / GEH / 4 - 200 SCCM 2 SLM
PC: EPROM
2001 vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA RVP-9000 est un équipement de four à diffusion de pointe conçu pour le traitement thermique précis et fiable des plaquettes semi-conductrices dans la production de circuits intégrés. Ce système de pointe est équipé de technologies de pointe et de fonctionnalités permettant des processus de diffusion efficaces et uniformes, ce qui en fait un outil essentiel pour les installations de fabrication de semi-conducteurs. Au cœur de SVG RVP-9000 se trouve sa chambre de four à haute température, qui est capable d'atteindre des températures allant jusqu'à 1200 degrés Celsius avec une uniformité de température exceptionnelle sur la surface de la plaquette. Ce profil de chauffage stable et uniforme est essentiel pour assurer des processus de diffusion cohérents et reproductibles, où des atomes dopants sont introduits dans le matériau semi-conducteur pour modifier ses propriétés électriques. Le four de diffusion est équipé d'une unité de distribution de gaz sophistiquée qui permet un contrôle précis de l'atmosphère à l'intérieur de la chambre pendant le processus de diffusion. Cette machine permet l'introduction de gaz dopants, tels que le bore, le phosphore ou l'arsenic, à des débits extrêmement faibles avec une grande précision. Le contrôle précis du débit de gaz et des rapports de mélange garantit que les dopants sont correctement incorporés dans le matériau semi-conducteur, conduisant à des dispositifs fiables et performants. AVIZA RVP-9000 dispose d'un design de tube vertical, qui offre plusieurs avantages par rapport aux fours horizontaux, y compris une dynamique de flux de gaz améliorée et une contamination réduite des plaquettes. L'orientation verticale de la plaquette permet une meilleure circulation des gaz autour de la plaquette, assurant une répartition dopante uniforme et minimisant les risques d'effets de bord lors des processus de diffusion. En plus de ses capacités de four de diffusion de base, RVP-9000 est équipé d'une gamme d'accessoires et de fonctionnalités avancées qui améliorent encore ses performances et sa facilité d'utilisation. Il s'agit notamment d'un tube à quartz de haute précision pour le confinement des plaquettes, d'un outil de contrôle de la température multi-zones pour le réglage fin des profils thermiques, et d'un outil avancé de contrôle du débit de gaz pour une introduction précise du dopant. Le modèle est également équipé d'un équipement complet de contrôle et de surveillance des processus qui permet aux fabricants de semi-conducteurs de définir et d'optimiser les recettes de diffusion, de surveiller les paramètres clés des processus en temps réel et d'assurer des performances de processus cohérentes. Les capacités d'enregistrement et d'analyse des données du système permettent une traçabilité détaillée du processus et facilitent l'optimisation du processus pour un rendement maximal et des performances de l'appareil. Dans l'ensemble, THERMCO RVP-9000 est un four de diffusion de pointe qui combine des technologies de pointe, un contrôle de précision et des performances fiables pour répondre aux exigences strictes de la fabrication moderne de semi-conducteurs. Sa conception robuste, ses capacités à haute température et ses caractéristiques sophistiquées en font un outil indispensable pour réaliser des processus de diffusion dopants précis et uniformes, essentiels à la production de circuits intégrés performants.
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