Occasion SVG / THERMCO / AVIZA SVG 7000 #293747284 à vendre en France
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ID: 293747284
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2003
Diffusion furnace, 6"
Laminar flow hood
Compumotor robot
ACE Panel
Dual boat elevator
Anti-static bar
Element lift
Torch controller
CRT PCE Controller
Boat type: Quartz, 6" and pedestal, 8"
VCR Gasline interconnect
SCHUMACHER Trans LC bubblier
MFC:
(2) N2 (30 SLM / 3 SLM)
(2) O2 (20 SLM / 2 SLM)
H2 (10 SLM)
Wafer storage:
Dual boat
(8) Carriers
2003 vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA SVG 7000 est un équipement de four de diffusion de pointe conçu pour le dopage précis et uniforme des matériaux semi-conducteurs avec des impuretés pour modifier leurs propriétés électriques. Ce four avancé est équipé d'une large gamme de caractéristiques et d'accessoires qui en font une solution idéale pour les environnements de production à haut volume dans l'industrie des semi-conducteurs. Au cœur de SVG SVG 7000 est une chambre de processus à haute température capable d'atteindre des températures allant jusqu'à 1200 degrés Celsius. Ceci permet une diffusion efficace des atomes dopants dans le substrat semi-conducteur, assurant un processus de dopage contrôlé et reproductible. La chambre est faite d'un matériau de quartz de haute qualité qui offre une excellente stabilité thermique et une résistance aux conditions de processus difficiles. AVIZA SVG 7000 est équipé d'un système de distribution de gaz sophistiqué qui permet le contrôle précis de l'atmosphère de dopage à l'intérieur de la chambre de procédé. Divers gaz dopants tels que l'arsenic, le phosphore et le bore peuvent être introduits dans le four à des débits et concentrations spécifiques pour atteindre le profil de dopage souhaité dans le matériau semi-conducteur. Ce contrôle précis du flux gazeux assure un dopage uniforme sur toute la surface du substrat, ce qui conduit à des propriétés électriques cohérentes. Pour améliorer encore les performances de SVG 7000, l'unité est équipée de mécanismes de régulation de température avancés qui permettent d'ajuster avec précision le profil de température du four lors du processus de dopage. Ceci assure que le matériau semi-conducteur est exposé aux conditions thermiques optimales requises pour une diffusion efficace du dopant, ce qui donne des résultats de dopage très prévisibles et fiables. En plus de ses fonctionnalités de base, THERMCO SVG 7000 est livré avec une gamme d'accessoires et de fonctionnalités facultatives qui répondent à des exigences de processus spécifiques. Ces accessoires comprennent des robots de manutention de plaquettes pour le chargement et le déchargement automatisés de substrats, ainsi que des systèmes avancés de surveillance et de contrôle des processus pour l'acquisition et l'analyse de données en temps réel. La machine peut également être intégrée avec des interfaces logicielles et de contrôle externes pour une intégration transparente dans les lignes de production existantes. SVG/THERMCO/AVIZA SVG 7000 est conçu avec la sécurité et la fiabilité à l'esprit, avec une construction robuste et des composants de haute qualité qui assurent les performances à long terme et le temps d'utilisation. L'outil est facile à utiliser et à entretenir, avec des interfaces conviviales et des outils de diagnostic qui simplifient les tâches de dépannage et de maintenance. Globalement, le four de diffusion SVG/THERMCO/AVIZA AVIZA 7000 est une solution de pointe pour les applications de dopage à haut débit à semi-conducteurs. Ses caractéristiques avancées, ses capacités de contrôle précises et sa polyvalence en font un choix idéal pour les fabricants de semi-conducteurs qui cherchent à obtenir des résultats de dopage cohérents et reproductibles dans un environnement de production.
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