Occasion SVG / THERMCO / AVIZA TMX 2604 #293655631 à vendre en France

SVG / THERMCO / AVIZA TMX 2604
ID: 293655631
LPCVD Furnace.
SVG/THERMCO/AVIZA TMX 2604 est un four de diffusion polyvalent et puissant et des accessoires conçus pour offrir une gamme complète de processus de liaison de diffusion et de fabrication de plaquettes. Il est capable de réaliser des procédés très chargés, ainsi que des procédés de recuit thermique ultra-rapides. SVG TMX 2604 peut accueillir des tailles de substrat jusqu'à 300 millimètres, ce qui le rend adapté à une variété d'applications. AVIZA TMX 2604 dispose d'un équipement intégré de contrôle des processus avec des capacités de programmation avancées. L'utilisateur est en mesure de créer facilement des recettes de processus qui correspondent au processus thermique, permettant un fonctionnement précis et efficace. THERMCO TMX 2604 est équipé de plusieurs paramètres de processus tels que la pression, la température, le vide et l'atmosphère, qui peuvent tous être facilement surveillés pendant le processus. En outre, le four est conçu avec une empreinte compacte et comprend des caractéristiques facultatives telles qu'un tube de gazage confiné, un système de refroidissement en boucle fermée et des systèmes d'émission optique. TMX 2604 utilise une unité de chauffage à diffusion avec un filament de graphite pour atteindre des températures allant jusqu'à 1200 ° C Cela le rend adapté à une variété de procédés thermiques dans la gamme 450-1200 ° C, tels que le collage de diffusion, le collage de plaquettes, l'oxydation, le recuit et le frittage. Il est également équipé d'une machine à convection pompée intégrée, qui aide à réaliser des processus uniformes. Le four est conçu avec des dispositifs de sécurité automatisés, tels qu'un interrupteur d'arrêt d'urgence, une alarme sonore d'urgence et une fonction d'arrêt d'urgence. Il comprend également plusieurs capteurs intelligents et plusieurs dispositifs de sécurité ; un outil d'évacuation des gaz d'échappement ; et une fonction de limitation automatique de la température, qui arrête automatiquement le processus de chauffage à des températures prédéterminées. En outre, SVG/THERMCO/AVIZA TMX 2604 est conçu avec une variété d'accessoires pour assurer la commodité de l'utilisateur. Ceux-ci comprennent un chariot de chambre de chauffage ; un chariot de chambre de refroidissement ; un bras de transfert de substrat robotique ; un bras de transfert robotique ; un adaptateur de chambre de procédé ; un bras de rouleau ou de manipulateur ; et un actif de contrôle de pression. Le four dispose également de pièces faciles à entretenir telles qu'un four à graphite et des joints de chambre à vide, et les composants sont conçus pour la longévité et un faible entretien. SVG TMX 2604 fournit un four de diffusion puissant et polyvalent avec une large gamme d'accessoires de four pour diverses applications. Il offre un modèle de contrôle de processus robuste, un équipement de chauffage efficace, et de multiples caractéristiques de sécurité pour garantir un processus de haute qualité et fiable. En outre, AVIZA TMX 2604 est conçu avec une variété d'accessoires et de composants pratiques, ce qui en fait un choix idéal pour une variété de processus de fabrication.
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