Occasion SVG / THERMCO / AVIZA VTR 6000 #26404 à vendre en France
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ID: 26404
Taille de la plaquette: 6" 8"
Vertical Furnaces, 6", can be configured to 8" capability
POCL3, Atmosphere, O2, N2, Phosphorous Oxychloride
as-is
early 1990s vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000 est un four à diffusion intermédiaire et un emballage accessoire pour le contrôle de température de précision et le traitement des semi-conducteurs. Ce four de diffusion a une température maximale de 1500 ° C, ce qui le rend adapté à une large gamme de matériaux, y compris le silicium polycristallin, le nitrure de silicium et le nitrure d'aluminium. La SVG VTR 6000 est équipée de fonctions de contrôle et de sécurité informatiques précises, permettant une gestion précise de la température et du processus. De plus, l'emballage comprend une turbomachine et une sortie d'air chaud/froid pour une personnalisation supplémentaire de l'utilisateur. Le four de diffusion AVIZA VTR 6000 est construit à partir de fibres céramiques isolantes de haute qualité et d'alliages spéciaux, assurant la résistance aux températures extrêmes et la longévité dans les applications de haute performance. Ses mesures internes comprennent un diamètre de 9,5 pouces et une hauteur de 12 pouces, conçus pour accueillir de plus grandes capacités. La conception monocouche dispose de chaleur de convection verticale, avec un réglage indépendant et un ventilateur à haute température réglable pour diriger la chaleur dans l'espace confiné. L'élément chauffant à haute température est situé à l'extérieur de la chambre à haute température pour faciliter un refroidissement plus rapide et une stabilisation de la température. Le paquet comprend également un contrôleur informatique intuitif, permettant aux utilisateurs de configurer et de peaufiner les profils de température programmables. Il sert d'interface pour permettre la communication, fournissant des données exactes sur la température et le processus, des recettes évolutives et un réglage en temps réel de la consigne. Le système de contrôle du profil de température PID (proportionnel, intégral et différentiel) assure une précision et une répétabilité accrues par rapport à une consigne donnée. Le VTR 6000 possède des caractéristiques de sécurité intégrées pour protéger le personnel, comme une protection contre la surchauffe et un ventilateur de refroidissement. Il comprend plusieurs niveaux de contrôle et de surveillance pour s'assurer que les mesures de température du four demeurent dans les limites fixées, et la turbomachine sous pression est équipée d'un filtre à air pour assurer un fonctionnement propre. La conception thermique efficace de THERMCO VTR 6000 permet de chauffer et de refroidir plus rapidement. Cette dérive thermique minimisée permet une plus grande précision et une meilleure stabilité du procédé. Des accessoires supplémentaires, tels que des fils d'alimentation et des bains en céramique, sont disponibles séparément. Ce four de diffusion et emballage accessoire est une solution fiable et économique pour sa gamme polyvalente d'applications de traitement, y compris la diffusion, l'oxydation et le recuit. SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000 peut être utilisé dans un large éventail d'industries, y compris les laboratoires, les semi-conducteurs et la fabrication optoélectronique.
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