Occasion SVG / THERMCO / AVIZA VTR 6000 #293597262 à vendre en France

ID: 293597262
Vertical furnace.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000 est un four à diffusion conçu pour le traitement thermique rapide (RTP) des dispositifs semi-conducteurs. Ce four très efficace et fiable présente une homogénéité et une stabilité de température supérieures, ce qui le rend idéal pour une large gamme d'applications de traitement des semi-conducteurs. Le SVG VTR 6000 est composé d'une chambre de traitement en acier inoxydable étanche sous vide, d'un collecteur de gaz de procédé et d'un plateau de refroidissement arrière. La chambre est équipée d'une extrudeuse chargée en fond. L'extrudeuse, une caractéristique unique de ce four, permet une large gamme de configurations de processus et d'efficacité. L'équipement de distribution de gaz d'AVIZA VTR 6000 comprend une boîte à gaz, un régulateur de pression mural et une vanne proportionnelle, qui fournit des gaz de processus à pleine portée et contrôlés avec précision qui peuvent être livrés au substrat. En outre, le four est équipé d'un régulateur de température électronique qui fournit des cycles de chauffage et de refroidissement rapides, permettant une programmation rapide et des changements de recettes sans interruption de processus. Le contrôleur dispose également d'une interface utilisateur graphique simple. Le plateau de refroidissement arrière de VTR 6000 distribue la puissance le long de trois canaux pour l'uniformité de température verticale et horizontale sur le substrat. Le plateau de refroidissement augmente encore l'uniformité et la précision du contrôle de la température, éliminant la température en sur- ou sous-pousse. THERMCO VTR 6000 comprend des caractéristiques de sécurité avancées telles qu'un système d'arrêt automatique pour protéger contre les températures de processus excessives. Cette caractéristique est particulièrement importante car elle empêche la surchauffe du substrat et la défaillance catastrophique du substrat, assurant ainsi un environnement de travail sûr et productif. De plus, SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000 dispose d'une unité de filtration d'air pour assurer une circulation d'air propre dans le four, minimisant le risque de contamination. En résumé, SVG VTR 6000 est un four de diffusion extrêmement fiable conçu pour les applications de traitement thermique rapide. Il dispose d'une machine de distribution de gaz efficace, d'un régulateur de température électronique avec interface graphique conviviale, d'un plateau de refroidissement arrière pour une meilleure uniformité de température, ainsi que de dispositifs de sécurité avancés, y compris un outil d'arrêt automatique et des moyens de filtration de l'air. Avec ses performances, sa fiabilité et ses caractéristiques de sécurité exceptionnelles, AVIZA VTR 6000 est le choix idéal pour les applications de traitement de semi-conducteurs.
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