Occasion SVG / THERMCO / AVIZA VTR 6000 #9168600 à vendre en France
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Vendu
ID: 9168600
Taille de la plaquette: 6"
Vertical LPCVD furnace, 6"
Process: SiN
Chamber
Mainframe
EDWARDS iQDP80 / QMB500 Pump
Cooling trap
Gas manifold box
Transformer
Power control unit.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000 est un four de diffusion avancé et un ensemble d'accessoires conçus pour répondre à des exigences rigoureuses. L'équipement est capable de réaliser jusqu'à 6000 plaquettes par heure avec une technologie de traitement simple ou par lots, permettant un débit plus élevé avec des coûts moindres. Le système offre une gamme impressionnante de fonctionnalités et de capacités. SVG VTR 6000 dispose d'un carrousel d'empilement de plaquettes chargées innovant qui peut être chargé avec jusqu'à trois plaquettes par tour, augmentant considérablement la capacité de débit. Ses stations chimiques sont conçues pour des injections chimiques rapides et précises, tandis que le mécanisme de placement précis des plaquettes permet d'assurer un alignement précis des plaquettes. Le contrôle de température de précision dans toute l'enceinte est particulièrement intéressant pour des atmosphères non oxydantes uniformes lors des opérations de diffusion. Pour faciliter le fonctionnement et améliorer la sécurité, AVIZA VTR 6000 est conçu avec des capacités avancées de surveillance des pannes et de diagnostic. L'interface graphique à écran tactile LCD permet un fonctionnement facile et affiche les paramètres du processus en temps réel, tandis que les systèmes de surveillance et les capteurs de pression optionnels fournissent un contrôle complet du processus. L'unité offre également des capacités fiables de surveillance et de diagnostic de la machine avec un spectromètre à émission optique (OES) optionnel pour détecter les contaminants nocifs présents dans la chambre. En outre, l'analyseur intégré de substrat électrique (ESA) aide à suivre l'avancement des processus de diffusion. Pour maximiser la commodité d'utilisation, le THERMCO VTR 6000 est conçu pour être intégré aux systèmes robotiques et aux systèmes de verrouillage de charge des plaquettes. Il dispose également d'un logiciel intuitif qui aide les utilisateurs à configurer rapidement leurs recettes. En outre, l'outil est capable de stocker jusqu'à 10 000 recettes pour une récupération facile. Pour maximiser le temps de disponibilité, l'actif est également livré avec un modèle de connexion sans câble qui réduit le temps requis pour la maintenance et les réparations. Dans l'ensemble, le four de diffusion VTR 6000 et ses accessoires offrent une solution économique et fiable pour un large éventail d'applications. La conception avancée de l'équipement, les capacités complètes de surveillance et de diagnostic du système, le logiciel intuitif et l'unité de maintenance sans câble garantissent des performances fiables et rentables et une commodité d'utilisation supérieure.
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