Occasion SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #26396 à vendre en France
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ID: 26396
Vertical Furnaces, Nitride, 6", can be configured to 8" capability
Gas system can be configured
As is.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000 est un four à diffusion haute performance conçu pour être utilisé dans les laboratoires de recherche et développement de l'industrie des semi-conducteurs. SVG VTR 7000 est conçu pour fournir des processus thermiques fiables et précis et dispose de chauffages submersibles peu profilés pour fournir de la chaleur propre dans toute la chambre de processus. AVIZA VTR 7000 dispose également d'un contrôle précis de la température et de l'uniformité avec un contrôle thermique uniforme qui est nettement meilleur que les fours de diffusion traditionnels. THERMCO VTR 7000 peut également fonctionner à des températures allant jusqu'à 3500 ° C et peut être utilisé pour déposer et graver des matériaux tels que le silicium, l'arséniure de gallium et l'aluminium. Pour assurer un contrôle thermique uniforme, le VTR 7000 dispose de chauffages submersibles peu profilés qui sont contenus dans la chambre de procédé. Les chauffages utilisent des matériaux de chauffage avancés et peuvent atteindre des températures comprises entre 50 ° C et 1500 ° C, selon la configuration. SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000 dispose également d'une variété d'autres composants de chauffage avancés, y compris un haut en céramique pour un contrôle thermique uniforme, une bobine renforcée en céramique pour la distribution de la chaleur, et un réchauffeur électrique d'appoint. Ceci fournit une excellente uniformité thermique et un contrôle thermique précis sur l'ensemble de la chambre de procédé. En plus de fournir un contrôle thermique précis, SVG VTR 7000 dispose également de capacités de vide haute performance. L'équipement peut atteindre des niveaux de vide jusqu'à 8 x 10-6 Torr et fonctionne à des pressions de chambre allant jusqu'à 10-4 Torr pour atteindre une température de fonctionnement adéquate. Avec la capacité d'atteindre des plages de température allant jusqu'à 3500 ° C, AVIZA VTR 7000 est capable d'effectuer une variété de processus de diffusion, y compris le traitement thermique rapide (RTP). THERMCO VTR 7000 dispose également de mécanismes de sécurité avancés pour assurer la sécurité des utilisateurs tout au long du processus. Cela inclut la fonctionnalité d'arrêt automatique de l'appareil en cas de dépassement de température anormale, les niveaux de puissance anormaux, et d'autres conditions de sécurité. Le système comporte également des diagnostics avancés qui permettent de surveiller l'état de l'unité et d'identifier les défauts pour éviter d'autres dommages dans la chambre de processus. En plus de fournir un contrôle thermique fiable et précis, VTR 7000 est également construit pour fournir une capacité de refroidissement haute performance. Ceci est permis par une machine de refroidissement à deux étages qui fournit une vitesse élevée, un débit de fluide de refroidissement basse pression pour refroidir simultanément l'extérieur de la chambre et l'intérieur de la chambre. L'outil dispose également d'un plafond de transfert de chaleur à réponse rapide pour égaliser rapidement la température de la chambre et d'une ligne d'alimentation cryogénique pour une circulation optimale du liquide de refroidissement. Dans l'ensemble, SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000 est un puissant four de diffusion conçu pour la précision et la fiabilité. Construit avec une gamme de composants avancés et des mécanismes de sécurité, SVG VTR 7000 est capable de fonctionner à des températures extrêmes pour divers processus de diffusion. Avec un chauffage submersible peu profilé, un contrôle de température uniforme et une capacité de vide haute performance, AVIZA VTR 7000 est un excellent choix pour les laboratoires de recherche et développement dans l'industrie des semi-conducteurs.
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