Occasion SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #26401 à vendre en France

SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000
ID: 26401
Taille de la plaquette: 6" 8"
Vertical Furnace, Poly, 6", can be configured to 8" capability Gas system can be configured.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000 est un four de diffusion et des accessoires, spécialement conçus pour le traitement à haute température des semi-conducteurs sur une large gamme de températures. L'équipement dispose d'un contrôle microcontrôleur de conception avancée avec plusieurs consignes programmables, taux de rampe et paramètres de four qui assurent des processus thermiques précis même dans des environnements très dynamiques. SVG VTR 7000 supporte un large éventail de procédés, y compris la diffusion, l'oxydation, la nitridation, le recuit, l'implantation ionique et le dépôt de pulvérisateurs. AVIZA VTR 7000 dispose d'une armoire en acier inoxydable robuste, munie d'une porte thermiquement isolée. Un chauffe-chambre avec une température maximale de 1150 ° C est incorporé dans l'unité, avec une conception horizontale de mur froid de type tige, offrant une excellente uniformité de température sur l'ensemble de la chambre à vide. Le système est conçu pour optimiser l'efficacité du transfert de chaleur en incorporant l'isolation de chambre supérieure et en incorporant des contrôles de profil de température avancés. Le four supporte des tailles de plaquettes jusqu'à 200mm et utilise un algorithme de contrôle PID en boucle fermée efficace pour un bon contrôle du processus et de la stabilité. Son module de commande avancé fournit plusieurs commandes PID et de chauffage marche/arrêt, un programme de commande escalier montant/descendant et un programme de remontée qui aide à maintenir le four à une température constante. Le four dispose d'un ventilateur à chambre 2 modes pour maintenir une répartition uniforme de la température dans la chambre. La machine d'échappement sur VTR 7000 comprend un filtre et un épurateur à haut rendement. THERMCO VTR 7000 est également équipé d'un pyromètre et de capteurs de température multiples, qui mesurent avec précision les températures dans le four pour garantir des résultats reproductibles. En outre, l'outil est conçu avec une planche de protection pour minimiser les effets de toute panne thermique. Avec son moniteur de puissance embarqué, SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000 assure la sécurité et la fiabilité de ses opérateurs. SVG VTR 7000 peut être combiné avec une variété d'accessoires supplémentaires conçus pour améliorer la performance de l'actif. Il s'agit notamment d'anodisation, de systèmes de refroidissement, de systèmes de contrôle spécialisés, de chambres de procédés et de nombreuses autres options. Ces accessoires permettent une solution sur mesure qui répond à toutes les exigences de processus spécifiques. Dans l'ensemble, le SVAVIZA VTR 7000 est un modèle automatisé, à haute température, de four de diffusion et d'accessoires qui permet un traitement de diffusion uniforme et précis sur une large gamme de températures. Il dispose d'un matériel robuste, d'un contrôle de température avancé et de fonctions de surveillance ainsi que d'une large gamme d'accessoires, ce qui en fait un excellent choix pour la fabrication de semi-conducteurs.
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