Occasion SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9168601 à vendre en France
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Vendu
ID: 9168601
Taille de la plaquette: 6"
Vertical LPCVD furnace, 6"
Process: Poly
(1) Chamber
(1) Mainframe
EDWARDS iQDP80 / QMB500 Pump
Gas manifold box
TEOS Transfill
Transformer
Power control unit.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000 est un four de diffusion horizontale à chambre unique conçu pour la culture de matériaux à couches minces. Ce four de diffusion a une température maximale de 2500 degrés Celsius et dispose d'une capacité de traitement thermique rapide (RTP) pour des cycles de chauffage et de refroidissement rapides. SVG VTR 7000 est idéal pour les applications nécessitant un chauffage rapide uniforme (URH) et un cyclage rapide à température avec précision. Il fournit des séquences et des pressions thermiques contrôlées avec précision avec un degré élevé de répétabilité et de reproductibilité. AVIZA VTR 7000 est construit en molybdène pur avec des parois en acier inoxydable. Il a une taille globale de 10,5 po W x 10,5 po L x 9,9 po H, et une zone chauffée de 9,90 po W x 9,90 po L x 4,75 po H supportée par une base de chambre en acier inoxydable. Il a un taux de pression atmosphérique de 0,7 Torr et nécessite une alimentation électrique monophasée 208V. Le THERMCO VTR 7000 est équipé d'un équipement de traitement thermique rapide Nooter-Erickson, qui comprend un dispositif de chauffage monobloc à action rapide et un contrôleur à minuterie haute vitesse. Le dispositif de chauffage est conçu pour chauffer la chambre de façon précise et rapide pour fixer les niveaux de température en quelques secondes, et le contrôleur est conçu pour optimiser le profil de température avec des programmes intégrés. Ce système comprend également un interrupteur thermique automatique à 2550 ° C pour éviter la surchauffe de la chambre du four et du chauffage. Le VTR 7000 comprend une unité d'échappement brasée avec une chambre de bullage en céramique, un raccord de laboratoire en céramique en acier inoxydable et un joint étanche au vide. La machine d'échappement permet d'éliminer les émissions propres de la chambre, empêchant les fumées toxiques de pénétrer dans l'environnement du laboratoire. De plus, une vue en quartz permet d'observer la chambre de traitement. SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000 dispose également d'un contrôleur de température de haute précision avec affichage numérique et commande de consigne numérique. La température peut être facilement ajustée de la pression atmosphérique à 0,7 Torr avec une précision de +/-3 ° C et une répétabilité de +/-0,5 ° C Sont également inclus la puissance 0-50 A.F., lecture numérique sous vide, et l'air forcé en option et purge d'azote de la chambre. L'utilisation du four de diffusion SVG VTR 7000 et de ses accessoires permet d'utiliser des procédés tels que le dépôt en couche atomique (ALD) et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) avec une meilleure précision et un meilleur contrôle que les méthodes de production traditionnelles. Il élimine les variations de température entre la chambre de procédé et le réchauffeur, et est capable de produire des films minces avec précision et répétabilité. Cela en fait un choix fiable et rentable pour la production de matériaux en couches minces.
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