Occasion TEL MATr 8000 #293718846 à vendre en France
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ID: 293718846
Magnetic annealing system
Magnetic field: 0 to 8.0 Tesla
Circular diameter: Ø2° (51 mm)
Field homogeneity: -2/+2%
Field uniformity with angle: < ±1.5°
Set-point accuracy: < 5 m Tesla
Field stability: < 0.1%
Field reproducibility: <5 m Tesla
Temperature range: 200-450°C
Maximum wafer exit temp: 60°C
Thermal uniformity: <±3°C
Set point accuracy: ±1.5°C
Cross stack uniformity: ±1.5°C.
TEL MATr 8000 est un four à diffusion avancée et performant conçu pour répondre aux besoins exigeants de l'industrie des semi-conducteurs. Ce four de pointe est équipé d'une gamme de fonctionnalités et de capacités innovantes qui en font un outil polyvalent et fiable pour une variété de processus de diffusion. Au cœur du MATr 8000 se trouve un équipement de chauffage contrôlé de précision qui assure une répartition uniforme et cohérente de la température sur la surface de la plaquette. Ceci est essentiel pour obtenir des profils de diffusion précis et reproductibles dans le processus de dopage. Le four est capable d'atteindre des températures allant jusqu'à 1200 degrés Celsius, ce qui le rend adapté à une large gamme de procédés à haute température. TEL MATr 8000 dispose d'une conception de four vertical, qui permet un chargement et un déchargement faciles des plaquettes à travers une porte d'accès avant. Cette conception minimise également l'empreinte du four, le rendant idéal pour les environnements de salle blanche où l'espace est limité. La chambre du four est en quartz de haute pureté, ce qui assure une excellente stabilité thermique et une résistance aux réactions chimiques. L'un des principaux avantages du MATr 8000 est son système avancé de distribution de gaz, qui permet un contrôle précis des débits et des concentrations de gaz au cours du processus de diffusion. Ceci est essentiel pour réaliser les profils de dopage désirés et minimiser les défauts du matériau semi-conducteur. Le four est équipé de multiples entrées de gaz et régulateurs de débit massique, permettant un haut degré de flexibilité dans le développement des processus. En plus de ses capacités essentielles de chauffage et de distribution de gaz, TEL MATr 8000 est également équipé d'une gamme de modules accessoires qui améliorent encore ses performances et sa polyvalence. Il s'agit notamment d'un module de recuit thermique rapide pour le traitement de post-diffusion, d'un module de refroidissement de plaquettes pour le refroidissement rapide et d'une unité de contrôle de processus pour la rétroaction en temps réel sur les paramètres du processus. MATr 8000 est contrôlé par une machine logicielle sophistiquée qui permet une programmation facile des recettes de processus et la surveillance des paramètres clés en temps réel. L'interface logicielle est conviviale et intuitive, ce qui rend facile pour les opérateurs de mettre en place et d'exécuter des processus de diffusion avec une formation minimale. Dans l'ensemble, TEL MATr 8000 est un four de diffusion très avancé et fiable qui offre des performances et une flexibilité inégalées pour une large gamme d'applications de traitement de semi-conducteurs. Son outil de chauffage contrôlé de précision, son atout avancé en matière de distribution de gaz et sa gamme de modules accessoires en font un outil idéal pour réaliser des profils de diffusion précis et reproductibles dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs avancés.
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