Occasion TEL / TOKYO ELECTRON 803 #9254675 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON 803 est un four de diffusion monobloc et accessoires associés. Il utilise une cavité cylindrique, où une plaquette est placée sur le fond à l'intérieur et chauffée en utilisant la conception du foyer refroidi par le bord inférieur. Le four de diffusion monobloc à haute température a une capacité allant jusqu'à 1150 ° C et une uniformité de ± 3 ° C, idéal pour les procédés d'oxydation et de diffusion dans l'industrie des semi-conducteurs. Le four dispose d'un PLC (contrôleur logique programmable) pour un fonctionnement facile, avec un dispositif automatisé de mesure et de contrôle du débit O2 et des accessoires étanches au vide pour l'amorçage rapide du processus thermique et la détection du point final. Le four dispose également d'une barrière thermique mobile-ENDIS, un dispositif qui aide à réduire le gaspillage d'énergie en maintenant l'uniformité de la barrière thermique lors des opérations de traitement. L'interface graphique conviviale permet de régler facilement les températures de processus et les flux de gaz. Le contrôleur logique programmable assure un contrôle précis des paramètres du processus. TEL 803 est équipé d'un système de convection conçu pour réduire la consommation d'énergie en faisant circuler de l'air à l'intérieur du four, minimisant la turbulence et la perte de chaleur. TOKYO ELECTRON 803 dispose également d'un port de levé VCR-40, assurant l'uniformité du processus pendant les opérations et d'un ensemble de plaques de refroidissement pour l'hébergement des plaquettes et le réglage manuel du taux de chauffage. Le port VCR-40 est capable de contrôler l'uniformité de la température du four et la concentration chimique des dopants dans les gaz de procédé. Il permet également une analyse détaillée des enregistrements de données. 803 dispose également d'un système de surveillance des processus à distance ainsi que d'un logiciel PC pour traiter et exposer les données d'utilisation et les informations de processus. Le système de surveillance des processus à distance permet une surveillance continue de tous les paramètres de fonctionnement sans intervention manuelle. TEL/TOKYO ELECTRON 803 est également livré avec un certain nombre de fonctionnalités supplémentaires telles que le contrôle de température avancé, la technologie d'oxydation Armor, une fenêtre d'inspection facile d'accès, et des diagnostics de gaz de processus. Toutes ces caractéristiques se combinent pour produire un four de diffusion efficace et convivial conçu pour répondre aux besoins de l'industrie moderne des semi-conducteurs.