Occasion TEL / TOKYO ELECTRON A303i #293801900 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON A303i est un four à diffusion et des accessoires conçus pour répondre aux besoins des procédés de fabrication actuels de circuits intégrés (IC). Il fournit des dépôts de haute qualité à des températures extrêmement basses avec une excellente uniformité. TEL A303i dispose d'un design superbement conçu, de faible masse thermique (LTM) qui permet de réduire le temps de cyclage thermique. Le processus de diffusion est contrôlé par un contrôleur de processus informatisé qui dirige et surveille toutes les fonctions du processus, des réglages de température aux recettes de processus. Le creuset diffuseur TOKYO ELECTRON A 303 I est construit avec une conception de faible masse thermique afin de maximiser l'uniformité thermique sur tout le substrat. Le creuset permet des températures allant jusqu'à 1090 degrés Celsius, avec une pression maximale allant jusqu'à 80 Torr. En outre, le creuset dispose d'une paire de lampes à quartz horizontalement opposées qui permettent le système de transfert de charge pulsée d'azote (PNL). Le PNL assure un positionnement précis de la chambre de réaction pour éviter les interférences de réaction. De plus, TEL A 303 I est équipé d'un large éventail d'accessoires qui assure un contrôle optimal du processus et des performances. Parmi ceux-ci, on peut citer le module d'isolation du port de l'appareil, qui offre un moyen sûr et fiable de charger les substrats dans la chambre de réaction sans se soucier de la rotation de la chambre. L'introduction de gaz d'impureté et d'autres gaz réactifs est gérée par le système de délivrance de la couche atomique (DAL), qui peut être programmé pour fournir des couches atomiques de gaz précisément contrôlées pour les processus de dépôt. Pour surveiller les paramètres du processus en temps réel, A 303 I est livré avec un contrôleur DAS (Data Acquisition Systems) avancé, qui permet une rétroaction fiable et en temps réel et l'enregistrement de jusqu'à 16 paramètres. Cela inclut la pression d'air, la température du substrat, la température de la chambre et d'autres paramètres cachés. L'expérience exclusive de TOKYO ELECTRON A303i In Vacuum Ultra-Fine Control (IVAP) fournit l'ultime précision lors de la mise en place des processus. Avec jusqu'à six paramètres réglables, l'IVAP permet aux utilisateurs de surveiller et d'ajuster leur processus en temps réel. En conclusion, A303i est un four de diffusion et des accessoires de pointe qui offrent une précision et une précision inégalées. Avec sa faible masse thermique, son système de transfert PNL et ses systèmes de contrôle précis, il est l'outil parfait pour les fab labs IC à la recherche de performances supérieures.