Occasion TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9235193 à vendre en France
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ID: 9235193
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2003
Vertical diffusion furnace, 12"
Process: DIFF
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON A303i est un équipement avancé de four de diffusion destiné à la fabrication de circuits intégrés. Le système se compose de deux composants : une chambre de four de diffusion et les équipements de traitement associés. La chambre du four de diffusion est conçue pour être étanche à l'air et au vide et est capable de températures jusqu'à 1550 degrés Celsius. L'unité est équipée d'une machine spéciale de contrôle atmosphérique pour maintenir l'atmosphère souhaitée pour le traitement. La chambre est réalisée à partir de deux coquilles en acier inoxydable, titane ou niobium. L'intérieur de la chambre est revêtu d'un revêtement céramique. Ce revêtement contient des nanofilms de carbure de titane et est conçu pour éviter l'oxydation lors du traitement. La chambre est également équipée de fenêtres à quartz pour permettre la transmission de la lumière utilisée pour surveiller l'avancement du traitement. L'outil du four de diffusion comprend également un certain nombre d'accessoires qui permettent un traitement ultérieur. Ces accessoires comprennent des bras d'extension, des volets, des ensembles de sonde, des plaques d'étanchéité des bords, des résines de raclage et des éléments chauffants. Les ensembles de sonde permettent une manipulation précise et l'application de résines à la chambre intérieure. Une conduite d'alimentation en gaz inerte est raccordée à la chambre par mesure de sécurité supplémentaire. Les plaques d'étanchéité des bords sont fixées à l'ouverture de la chambre et sont conçues pour réduire la contamination provenant de sources extérieures. Les résines de raclage sont utilisées pour réduire la contamination par l'adhérence du matériau sur les parois de la chambre. Les éléments chauffants sont utilisés pour chauffer uniformément la chambre et maintenir un environnement cohérent pour le traitement. TEL A303i est un atout de four de diffusion exceptionnellement fiable et facile à utiliser. Il est conçu pour la fabrication de circuits intégrés avancés et d'autres composants microélectroniques spécialisés. C'est un modèle robuste conçu pour une longue durée de vie utile et de faibles exigences d'entretien.
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