Occasion TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9241289 à vendre en France
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ID: 9241289
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2004
Vertical diffusion furnaces, 12"
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON A303i Diffusion Four est un puissant équipement de laboratoire utilisé pour déposer sur la surface d'un substrat ou autre matériau, une fine couche de matériau. Il est bien adapté pour des applications nécessitant un contrôle précis de la température comme dans la réalisation de semi-conducteurs composés, ou pour la réalisation d'autres dispositifs utilisant divers matériaux dont des films de diamant. TEL A303i est un four horizontal avec un seul tube de procédé qui est logé dans une enceinte en titane. Il est refroidi par refroidissement à l'eau et contient un élément résistif chauffant étanche au quartz. La température maximale de fonctionnement est de 1300 ° C avec une uniformité de température ± 5 ° C Les panneaux extérieurs sont en acier inoxydable 304 et 321. La chambre est également construite en acier inoxydable avec un tube intérieur en quartz et isolant en laine de verre. Le four est équipé d'un orifice d'échappement qui est conçu pour évacuer l'air chauffé généré lors des opérations. TOKYO ELECTRON A 303 I est livré avec plusieurs accessoires, dont une boîte à gaz automatisée, une séparation sous vide, un ventilateur, une alimentation électrique, une soupape de sécurité, un mécanisme de support, une entrée de refroidissement de l'eau, un orifice d'échappement, et un contrôleur. La boîte à gaz est conçue pour mélanger et contrôler la quantité de gaz utilisée dans le processus. Le système de séparation sous vide est utilisé pour séparer l'air d'échappement de la chambre du four. Il permet d'éliminer efficacement les contaminants de l'air émis par le four. Le ventilateur est utilisé pour réguler la température du four. La soupape de sécurité est utilisée pour éviter toute surpression dans le système et pour servir de précaution de sécurité si la température augmente au-delà du niveau souhaité. L'alimentation permet un contrôle précis de la température, tandis que le mécanisme de support assure la stabilité du four pendant le déroulement du processus. L'entrée de refroidissement de l'eau est reliée à une source d'eau réfrigérée et sert à maintenir une température constante tout au long du processus. L'orifice d'échappement est relié au système de vide et est conçu pour évacuer l'air chauffé ou contaminé de la chambre du four, empêchant ainsi toute entrée de substances indésirables dans l'enceinte pendant le processus. Le contrôleur est utilisé pour surveiller et ajuster la température et le déroulement global du processus. En conclusion, le four de diffusion TEL A 303 I et ses accessoires d'accompagnement offrent un moyen fiable et efficace de déposer des couches minces de matériau. Il offre un contrôle de température précis et une parfaite uniformité, tout en respectant toutes les exigences de sécurité.
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