Occasion TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9271020 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON A303i est un four à diffusion et accessoire de pointe conçu pour optimiser l'efficacité de traitement thermique et la qualité de vos procédés de fabrication de semi-conducteurs. TEL A303i est excellent pour les procédés d'oxydation par film fragile, RTP, PAE, ALD, encapsulation et SiC. Il est adapté à une variété d'applications, du prototypage ultra-haut débit à la configuration des suites pour la production. TOKYO ELECTRON A 303 I dispose d'un four de base avec des ports de charge revêtus d'alumine pour le chargement/déchargement rapide et sûr des plaquettes. Les ports de chargement sont doublés de boucliers électrostatiques encastrés pour améliorer l'uniformité. Le chargeur de plaquettes est capable de transférer jusqu'à 200 plaquettes de 4 pouces, 150 plaquettes de 6 pouces et 80 plaquettes de 8 pouces en un seul cycle. La plaque à mandrin est également conçue avec des dispositifs de chauffage pour un contrôle uniforme de la température. A303i est équipé d'un régulateur de température avec un régulateur de température d'échappement programmable et un régulateur d'échappement automatique. Le pyromètre refroidi par air permet des mesures de température précises. Il dispose également d'un système de rétroaction en boucle fermée, où la rétroaction de divers capteurs est utilisée pour maintenir les paramètres et la qualité du processus. Le four dispose d'une interface logicielle avancée pour l'analyse des données et l'ajustement des paramètres. Des paramètres comme la température, le temps, le débit de gaz et la pression peuvent tous être réglés en temps réel à l'aide d'un panneau de commande tactile. Le logiciel comprend également un visualiseur de données en temps réel pour visualiser les paramètres du processus et aider au dépannage. TOKYO ELECTRON A303i offre également à ses utilisateurs des fonctionnalités supplémentaires telles que le pompage différentiel pour réduire la fluctuation de la charge de gaz, une option de « refroidissement rapide » pour refroidir rapidement la chambre, un contrôle de la température à double zone et une rampe de chaleur contrôlée par le processus pour une rampe de température sûre. En termes de sécurité, TEL A 303 I est certifié UL et CE, ce qui lui permet d'être utilisé en toute sécurité dans la plupart des environnements de production. La machine dispose également d'un cadre en acier inoxydable résistant à l'acide et de joints en quartz durables pour éviter toute corrosion ou fuite. TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I est un outil idéal pour une variété de procédés thermiques. Il offre une excellente uniformité de processus, un débit élevé, un contrôle précis de la température et des capacités d'analyse des données de processus pour s'assurer que vos besoins de fabrication de semi-conducteurs sont satisfaits de la manière la plus efficace.