Occasion TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9315048 à vendre en France
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ID: 9315048
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2003
Vertical diffusion furnace, 12"
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON A303i est un four à diffusion multifonctions haute performance et ses accessoires. Il est conçu pour répondre aux besoins des applications avancées de la technologie des semi-conducteurs. Il offre un contrôle précis de la température, une protection contre les intempéries et une répartition uniforme de la chaleur avant-arrière. Sa technologie avancée de contrôle de l'uniformité de température assure un profilage précis de la température du substrat de plaquettes. Le four met en oeuvre un volume de four très important, suffisamment important pour permettre le traitement de grandes quantités de plaquettes. Il comprend également un équipement de surveillance embarqué qui permet à l'utilisateur de surveiller l'état du processus en temps réel. L'utilisation de ce système de surveillance aide également l'utilisateur à prendre de meilleures décisions et à augmenter l'efficacité de production ainsi que le débit. TEL A303i est conçu pour être flexible et peut être facilement intégré aux outils de processus existants. Il dispose également d'une unité avancée qui permet d'exécuter une grande variété de configurations. Il est capable de supporter de grands processus de wafer, jusqu'à 2.400mm de taille. Le four peut être adapté et configuré pour permettre une précision de température de 0,1 ° C avec un contrôle de température répétable. TOKYO ELECTRON A 303 I est conçu pour assurer la répétabilité et une grande précision sur le profil de température. Il est construit en matériaux de haute qualité et dispose d'un réacteur à quartz intégré pour les opérations à très haute température et d'une grande chambre de réaction pour un volume optimal. En outre, il comprend également des bras automatiques de chargement et de transfert de plaquettes pour un alignement uniforme sur la plaquette. Il dispose également d'un extérieur en acier inoxydable sécurisé et résistant à la corrosion pour assurer la durabilité grâce à la large gamme de températures de fonctionnement. De plus, le four est conçu avec une perte de chaleur minimale pour l'environnement et une excellente isolation. L'intérieur de la chambre de réaction est porté avec du gaz chauffé pour maintenir la température de précision à l'intérieur et sous le matériau de la plaquette. TEL A 303 I, offre également un haut niveau de sécurité avec sa large gamme de caractéristiques de sécurité. Ces caractéristiques comprennent un bouton d'arrêt d'urgence pour l'arrêt immédiat, un capteur de température excessive pour la prévention de la défaillance du processus et un noyau scellé pour un dégagement de chaleur minimal dans l'environnement environnant. TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I est équipé d'une machine de détection d'obstacles sans panne qui empêche la plaquette de tomber dans la chambre de réaction. Il est également compatible avec une large gamme d'accessoires pour l'automatisation et le contrôle des processus. En conclusion, A 303 I est un four de diffusion multifonctions et ses accessoires qui est conçu pour fournir un contrôle précis de la température, une protection contre les intempéries et une distribution de chaleur uniforme pour les applications avancées de semi-conducteurs. Sa technologie avancée de contrôle de l'uniformité de température et sa large gamme de caractéristiques de sécurité en font un choix idéal pour des exigences exigeantes dans l'industrie.
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