Occasion TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9315050 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON A303i
ID: 9315050
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Vertical diffusion furnace, 12" 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON A303i est un four à diffusion haute performance et les accessoires associés pour le traitement des plaquettes. C'est un outil fiable, facile à utiliser et durable pour les environnements de production de semi-conducteurs. TEL A303i est un four multi-zones à haute température utilisé pour le contrôle thermique des procédés. Il offre des conditions de traitement thermique précises et répétables pour une variété de substrats et de matériaux. TOKYO ELECTRON A 303 I a une température maximale de 1200 ° C et peut aller de 20 ° C à 1200 ° C Il présente également une homogénéité ± 2 ° C et une stabilité ± 0,1 ° C Il utilise des systèmes avancés de contrôle qui sont spécifiquement conçus pour la cartographie de la température des plaquettes dans la courte durée. Un 303 I est capable de fournir des informations dynamiques sur la température des plaquettes, qui peuvent à leur tour être utilisées pour éviter un traitement thermique de la plaque ou des non-uniformités de contour. TOKYO ELECTRON A303i dispose également d'une doublure de projecteur en graphite pour une meilleure dissipation thermique et une meilleure surveillance de la température. Le revêtement de susceptor permet également de maintenir un environnement de traitement propre pendant la production des plaquettes. En plus du traitement thermique de haute qualité, TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I présente également aux utilisateurs une variété de systèmes de contrôle des gaz de procédé. Il est capable d'obtenir une large gamme de rapports de mélange de gaz de procédé, de 50/50 à 99/1 de plusieurs gaz et permet une flexibilité importante pour optimiser la qualité des plaquettes. Il offre également un contrôle précis des processus grâce au débitmètre de gaz en ligne. A303i est disponible avec plusieurs paramètres de processus tels que la vitesse de chauffage, le profil de température, les recettes de processus, et plus, qui peuvent être programmés pour répondre aux exigences de processus individuels et améliorer les performances des appareils. Il intègre une variété d'options de sécurité, y compris des capteurs de température et des mesures de protection contre les surintensités. Tout cela fait de TEL A 303 I un système efficace, précis et sûr pour le traitement thermique. Avec ses technologies de pointe et ses caractéristiques supérieures, il offre des performances inégalées pour la production de plaquettes.
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