Occasion TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9351462 à vendre en France
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ID: 9351462
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
Vertical diffusion furnace,12"
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON A303i est un four à diffusion et accessoires associés utilisés dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs pour la cuisson des plaquettes et le traitement thermique rapide. Il est capable de traiter jusqu'à 200mm de plaquettes par course, avec des températures de processus jusqu'à 1200 ° C L'utilisateur peut choisir parmi trois types de sources de chauffage, selon l'application : chauffage par résistance, chauffage alternatif (courant alternatif) ou courant continu (courant continu). Le four dispose d'une large gamme de paramètres de contrôle de la température et du débit qui peuvent être configurés pour répondre aux exigences du processus, y compris le débit de gaz, la pression et la température des plaquettes. Le four est également compatible avec une variété de systèmes de distribution de gaz, y compris la spectroscopie de masse in situ intégrée. Afin d'assurer l'uniformité des plaquettes, TEL A303i est équipé d'un équipement de régulation de température PID avancé pour un contrôle précis de la température. Ce système avancé utilise des algorithmes avancés pour ajuster rapidement et avec précision les températures et les paramètres de processus, assurant l'uniformité sur la plaquette pendant chaque course. En plus de son unité de régulation de température, TOKYO ELECTRON A 303 I utilise également une variété de systèmes de distribution de gaz pour obtenir un dépôt de film précis. Un panneau de gaz permet une surveillance in situ et un contrôle précis du débit, tandis que le spectromètre de masse intégré permet une cartographie rapide de la composition/concentration du gaz de l'atmosphère du procédé. L'échantillonnage in situ est également disponible à des fins de contrôle des processus. TOKYO ELECTRON A303i offre un haut niveau de sécurité en fonctionnement, avec deux embouts de sécurité qui coupent la puissance au four lorsque le couvercle est ouvert. Un blindage de sécurité est également disponible à titre de précaution supplémentaire, ainsi qu'une alarme sonore qui informe l'utilisateur lorsqu'une limite est dépassée. Le four comprend également un certain nombre de systèmes de rétroaction visuelle et sonore, dont un moniteur d'affichage pour analyser les températures et les paramètres du processus sous forme de graphiques, et deux modules pour contrôler, enregistrer et surveiller les données et les paramètres du processus en temps réel. TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I est conçu pour une intégration facile dans les systèmes de production existants, ainsi que pour fournir aux utilisateurs une interface utilisateur intuitive. Son logiciel de pointe permet à l'utilisateur de personnaliser de nombreux systèmes du four, permettant un fonctionnement facile et efficace. Le four dispose également d'une machine d'alarme optionnelle, qui peut être activée lorsqu'un paramètre particulier du processus est dépassé. Globalement, A 303 I est un four de diffusion fiable et efficace avec un ensemble de caractéristiques pour répondre aux besoins des applications de fabrication de semi-conducteurs. Son outil de régulation de température avancé et la gamme de systèmes de distribution de gaz fournissent des résultats précis et cohérents, assurant l'uniformité sur l'ensemble de la plaquette. Avec son interface utilisateur intuitive et ses systèmes de sécurité intégrés, A303i peut être un outil précieux pour l'industrie des semi-conducteurs.
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