Occasion TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9400223 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON A303i est un four de diffusion de pointe conçu pour une homogénéité de température supérieure et un contrôle de procédé amélioré. Il fournit des rampes de température critiques, un traitement thermique précis et une efficacité améliorée. Il est également équipé de composants internes avancés tels qu'un amplificateur RF haute puissance et une technologie de diffuseur innovante qui le rend adapté aux processus de production d'outils par lots et groupement. TEL A303i dispose d'une configuration multi-zones avec une grande chambre de chauffage et deux zones de chauffage amovibles. Il obtient une excellente uniformité dans les différentes parties de la chambre. La chambre de chauffage peut atteindre des températures allant jusqu'à 1400 ° C, ce qui la rend adaptée à divers procédés de fabrication de semi-conducteurs, y compris le recuit, le séchage, l'entraînement, l'oxydation et la nitridation. La chambre dispose également d'une isolation de bord ainsi que d'un chauffage latéral puissant pour assurer des niveaux élevés de répétabilité du processus. TOKYO ELECTRON A 303 I a également amélioré la distribution et le contrôle de la puissance RF pour améliorer l'uniformité entre les plaquettes. Il utilise la technologie d'adaptation RF avancée pour fournir les bons faisceaux de puissance, évitant les interférences induites par RF sur les plaquettes adjacentes. Cet équipement de commande révolutionnaire permet également un parage précis de la température et un chauffage de zone indépendant. Un 303 I est également livré avec une large gamme d'accessoires avancés, tels qu'un système de flux d'atmosphère inerte, une unité de gaz inerte, une boîte à gants et une machine LPCVD. L'outil à atmosphère inerte assure un traitement chimique stable à des températures allant jusqu'à 1300 ° C L'actif de gaz inerte fournit une atmosphère inerte pour minimiser l'introduction d'impuretés sur les plaquettes. La boîte à gants isole la chambre de l'air ambiant, augmentant l'uniformité de température et empêchant l'oxydation. Enfin, le modèle LPCVD offre une alternative plus économique et plus efficace au PECVD. TOKYO ELECTRON A303i est un four de diffusion riche en caractéristiques qui produit des résultats supérieurs avec une excellente répétabilité et des performances globales. Ses composants internes avancés et ses accessoires polyvalents sont la solution idéale pour les applications de fabrication de semi-conducteurs.