Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303C #9097223 à vendre en France
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ID: 9097223
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 1998
Low-K Anneal SOD System, 12", 1998 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303C est un four à diffusion avancée fabriqué par TEL (TOKYO ELECTRON), un leader mondial dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs. TEL Alpha 303C a un design unique qui en fait un choix idéal pour les fabricants de puces qui exigent un contrôle précis des étapes critiques du processus. Le four est constitué d'une chambre chauffée à double zone de 0,7 pied cube avec une limite de température élevée de 1250 ° C Une étape d'oxydation plasmatique facultative est disponible pour réduire les étapes de processus liées à l'EDD. TOKYO ELECTRON Alpha 303C comprend plusieurs fonctionnalités qui soutiennent la précision et la répétabilité dans un large éventail d'étapes de processus. Il contient des contrôleurs de processus intégrés qui permettent à l'utilisateur de configurer et d'exécuter des recettes préprogrammées efficaces sans intervention manuelle. De plus, un régulateur de débit massique à grande vitesse et un système intégré de surveillance de la contamination des particules assurent un excellent contrôle de la manutention des gaz et de la propreté des chambres. Alpha 303C est évalué pour une pression maximale de 100 mbar et a une vitesse de rampe de séquençage rapide (FS) de 150 ° C/minute, ce qui le rend adapté à une variété de processus de matériaux, y compris le recuit thermique rapide ou l'activation des transistors. Il est également doté de dispositifs de sécurité avant avancés, tels que des embouts de pression et un ioniseur, afin de réduire le risque de contamination et d'endommager les composants de processus vulnérables. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303C est compatible avec plusieurs accessoires TEL/TOKYO ELECTRON, y compris l'unité de traitement d'échantillons configurable (SHU-3000) et les systèmes de transfert de plaquettes tels que TEL-ATS Series 0 et 1. Cela permet aux utilisateurs de personnaliser leur configuration à leur application spécifique. TEL Alpha 303C est un excellent exemple de l'engagement de TOKYO ELECTRON en faveur de l'innovation et de la qualité. Il est conçu pour offrir une efficacité et une précision optimisées du processus, tout en maintenant un fonctionnement sûr grâce à des principes de contrôle du processus rationnel et à l'inclusion de caractéristiques de sécurité frontales. En tant que tel, il est un excellent choix pour les fabricants de puces à la recherche d'un four de diffusion fiable et précis.
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