Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9097225 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H est un four de diffusion et un équipement accessoire utilisé pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs avancés. Ce système de pointe comprend un four horizontal équipé d'une chambre de chauffage multicouche à haute température et d'une unité de verrouillage de charge à chambre unique. Il est conçu pour traiter des plaquettes en silicium, silicium sur isolant (SOI) et silicium-germanium (SiGe) jusqu'à 300 mm de diamètre. La machine dispose d'un contrôleur avancé avec une interface tactile facile à utiliser qui fournit aux producteurs un contrôle automatisé de la température de base, du taux de chauffage, du taux de refroidissement, du débit de gaz et des niveaux de pression. Un outil d'alarme high tech est également inclus pour avertir les utilisateurs en cas de dysfonctionnement ou de conditions inattendues. Le four utilise un actif de chauffage inductif linéaire, qui utilise un réseau de bobines pour générer un profil de température uniforme sur la surface de la plaquette, assurant une répartition précise de la température en chaque point. Les paramètres de chauffage et de refroidissement peuvent être ajustés à des niveaux très bas et très élevés, ce qui permet de réaliser des procédés tels que le recuit et l'oxydation avec des niveaux de précision et de contrôle très élevés. A l'intérieur du four, un modèle de chauffage multi-zones est utilisé pour traiter la non-uniformité de température, avec jusqu'à sept configurations de zones de température indépendantes pouvant être créées. Le four est également équipé d'un faible rayonnement thermique et de modules de gestion thermique active, assurant une performance thermique efficace. Le procédé est encore amélioré avec un humidificateur intelligent qui réduit la condensation et prévient la contamination. Enfin, TEL Alpha 303i-H est livré avec un équipement de verrouillage de charge à chambre unique qui minimise la contamination de la plaque à la plaquette, et avec un système complexe de surveillance de l'environnement gazeux qui permet aux utilisateurs de mesurer avec précision les concentrations de différents gaz, assurant une performance optimale du processus de diffusion. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H est un four de diffusion et un accessoire de pointe qui fournit aux utilisateurs la précision, la précision et le contrôle dont ils ont besoin pour des procédés de fabrication de dispositifs semi-conducteurs à plus haut rendement.