Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9097233 à vendre en France
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ID: 9097233
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2002
D-Poly furnace, 12", 2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H est un four de diffusion et un équipement d'accessoires spécialement conçu pour le traitement de substrats semi-conducteurs composés. Il dispose d'un large éventail de caractéristiques de sécurité, d'automatisation et de commodité qui en font une option souhaitable pour les laboratoires et les usines de production qui nécessitent un outil fiable et efficace pour la production à haut volume de composants semi-conducteurs. TEL Alpha 303i-H four de diffusion est construit avec précision dans l'esprit et peut atteindre des températures allant jusqu'à 1.900 ° C Il comprend également un système de contrôle de chauffage avancé et capable de contrôler la vitesse de rampe qui permet à l'utilisateur d'obtenir un contrôle de processus serré et répétable pour des résultats uniformes. La chambre de procédé est scellée avec une fenêtre en céramique et fournit des flux gazeux inertes ou réactifs sous pression vers la plaquette, censée offrir une uniformité et des rendements dopants supérieurs et un environnement de croissance cristalline optimisé. L'unité de chargement interne aide à automatiser le chargement et le déchargement des substrats dans la chambre de processus dans un schéma séquentiel rapide et permet d'effectuer simultanément jusqu'à trois substrats dans le même cycle de verrouillage de charge. Il comprend également d'autres caractéristiques avancées de chargement telles qu'une machine de compensation de force qui applique une pression uniforme ici le mandrin et l'anneau de mandrin qui contribue à assurer le contact entre les substrats et le mandrin, conduisant à un transfert thermique uniforme et à une stabilité de processus optimisée. L'outil TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H est également conçu avec la sécurité et la commodité de l'utilisateur. Il comprend une ressource avancée en eau de refroidissement, avec le procédé et des boucles de refroidissement dans des chambres séparées, pour éliminer le risque de contamination croisée entre le procédé et les boucles de refroidissement. Le modèle est également équipé d'un certain nombre de dispositifs de sécurité, dont un équipement de contrôle de pression inerte, un bouton d'arrêt d'urgence et un système de détection des fuites. En plus du four de diffusion principal, l'unité Alpha 303i-H comprend également un certain nombre d'accessoires pour optimiser vos opérations. Il s'agit notamment d'une machine d'oxydation/diffusion conçue pour les processus d'oxydation et d'oxydation thermique ; un outil de pré-diffusion GASDIFF pour les processus de pré-diffusion ; et un actif de gravure pour faciliter la gravure humide et sèche. Le modèle comprend également une interface PC GASDIFF pour l'intégration logicielle et une unité de contrôle tactile LCD pour un fonctionnement facile et intuitif. En conclusion, l'équipement TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H est un système de four de diffusion avancé et fiable qui est conçu pour maximiser la flexibilité de l'utilisateur, la sécurité et la stabilité du processus. Il offre un large éventail de caractéristiques et d'accessoires pour une production efficace, répétable et de haute qualité de substrats semi-conducteurs composés.
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