Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9097239 à vendre en France
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ID: 9097239
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2002
MTO Furnace, 12", 2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H est l'un des fours de diffusion de traitement des plaquettes semi-conductrices les plus avancés sur le marché. Cet équipement de four à quatre substrats intègre des conceptions innovantes et évoluées ainsi que des réglages personnalisables pour offrir des plaquettes de haute qualité et une uniformité supérieure. TEL Alpha 303i-H est équipé de ports de charge multiples et de contrôle logique Obsidian pour contrôler et ajuster automatiquement les températures du four central dans les zones de charge et de déchargement. De plus, la conception unique de TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H permet de prolonger la durée de vie des chauffages, d'augmenter la pureté des vapeurs et des gaz, d'améliorer l'uniformité des plaquettes, de contrôler la température avec précision et de charger et décharger rapidement et efficacement les substrats. Alpha 303i-H est conçu avec un système unique de gestion intégrée du gaz qui optimise la pureté et l'efficacité de l'utilisation du gaz. Il dispose de soupapes et d'évents avancés pour réduire les pertes d'échappement, de temps de purge extensibles, de réglages réglables du débit et de la pression, et d'une chambre fermée pour une uniformité thermique accrue. Cette machine comprend également un interrupteur à vide, un port de données et une pompe à jet d'eau active pour assurer des fluctuations de température réduites, une plus grande pureté et uniformité, et une exposition constante à la vapeur dans la chambre d'uniformité de température. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H est équipé de TEL PowerWaferII outil de transport avancé de plaquettes, qui assure un chargement et un déchargement de substrats de haute précision. Cet actif permet des opérations individuelles dans chaque port et est conçu pour réduire au minimum la contamination par les failles et les particules. Le PowerWaferII comprend un modèle de contrôle automatisé de la contamination (ACC) et des sous-ports étanches pour minimiser la contamination des couches et assurer une stabilité maximale des plaquettes. TEL Alpha 303i-H fonctionne également sur TOKYO ELECTRON propriétaire, convivial MGC-25 Platform, qui met en évidence ses capacités de programmation flexibles. Cette plateforme permet des réglages personnalisables, des fonctions pré-programmées et des opérations automatisées, permettant aux utilisateurs de configurer, modifier et surveiller rapidement les processus de diffusion. En général, l'Alpha d'ÉLECTRON DE TOKYO 303i-H la chaudière de diffusion fournit un design modulaire avancé, a optimisé l'équipement de direction du gaz, le système de transport de gaufrette de PowerWaferII de propriétaire et la Plate-forme MGC-25 facile à utiliser pour accomplir l'uniformité de gaufrette supérieure et la performance durable. Alpha 303i-H est un four de diffusion fiable et fiable pour diverses applications de traitement des plaquettes semi-conductrices.
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