Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9097240 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H est un four à diffusion verticale haute performance et un équipement d'accessoire conçu pour le traitement des dispositifs semi-conducteurs à ultra haute pureté (UHP). Le système présente une capacité de traitement et une uniformité de température supérieures, avec une plage de température allant de la température ambiante à 1000 ° C En outre, l'unité peut accueillir des plaquettes jusqu'à 8 po. pour le traitement ultra-faible résistivité. La machine dispose de la technologie Carrier Flow™ qui fournit un contrôle précis de l'uniformité de température. Cette technologie permet un meilleur contrôle de l'homogénéité de la température qui a permis le traitement des plaquettes avec des rendements de dispositif supérieurs. L'outil comprend également la technologie Glide Elements™ qui offre un contrôle précis du débit de gaz, une paroi de gaine uniforme et un confinement doux des plaquettes chauffées. Ceci permet d'éviter le déplacement latéral des plaquettes et d'assurer un chauffage uniforme des surfaces des plaquettes. L'actif comprend également un élément de chauffage unique et une configuration de capteur de température, permettant un contrôle précis de la puissance et de la température du chauffage. De plus, le modèle comprend un équipement breveté de compensation de température qui empêche les changements soudains de température. Cela permet d'assurer une homogénéité de température optimale tant sur le temps que sur la surface de la plaquette. TEL Alpha 303i-H dispose également d'une atmosphère inerte, ce qui le rend adapté à une gamme d'opérations de processus. Pour assurer des opérations d'ultra-haute pureté, le système est équipé d'une boulangerie pré et post-transformation, ainsi que d'une solution de recuit thermique rapide brevetée. Cela permet d'assurer un rendement de l'appareil élevé et des opérations de processus robustes. L'unité comprend également une unité de sécurité qui aide à assurer un niveau adéquat de protection contre les dommages causés au personnel et à l'équipement. L'unité de sécurité combine la protection mécanique et électrique, et comprend une machine d'interception et d'autres agréments de sécurité. En outre, l'unité de sécurité comprend également une série d'indicateurs DEL qui améliorent encore la sécurité du personnel et de l'équipement. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H est un four de diffusion avancé et un outil d'accessoire qui offre une capacité de traitement supérieure, une uniformité de température et des rendements de traitement des plaquettes. Cet atout est conçu pour le traitement d'appareils UHP, et dispose à la fois de la technologie Carrier Flow™ et de la technologie Glide Elements™, ainsi que d'un modèle breveté de compensation de la température et d'une unité de sécurité, ce qui le rend idéal pour la fabrication fiable et rentable d'appareils semi-conducteurs.