Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9394974 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H est un four à diffusion et accessoire conçu pour des applications avancées de traitement dans la fabrication de semi-conducteurs et de MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems). L'équipement dispose d'une entrée/sortie de gaz de paroi latérale à très haute température avec une limite de 600 ° C ainsi qu'une option peu coûteuse, fiable et économe en énergie pour la distribution de gaz pour des vitesses de chauffage et de refroidissement rapides. Le four est équipé d'un système de surveillance/contrôle de la température active de pointe multi-zone, multi-atmosphère. TEL Alpha 303i-H a une taille maximale de substrat de 40mm2 et offre une excellente homogénéité thermique et uniformité, avec une fluctuation de 0,2 ° C dans la gamme de -20 à 1200 ° C Ceci permet de minimiser la contrainte thermique et l'uniformité sur toute la plage de température avec un gradient thermique minimal sur le substrat. L'unité a également une basse température de surface supérieure allant jusqu'à 300 ° C, et des caractéristiques d'économie d'énergie telles qu'une machine de détection de fuites optique à longue longueur d'onde sélective pour éviter les pertes inutiles de gaz de procédé rares et coûteux. TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H dispose également d'un outil de contrôle de température actif avancé avec des temps de programmation indépendants et un contrôleur multi-zones, avec une température jusqu'à huit zones de contrôle. Il comprend également un grand ordinateur avec une variété de fonctionnalités avancées telles que le journal de l'historique du client, le mode de configuration de l'utilisateur, le journal des événements, la surveillance de la chambre, le contrôle personnalisé de la consigne, la collecte de données de processus et la capacité de liste-fichier, et la collecte de données multi-tâches. Il offre également un avertissement d'alarme pour les fluctuations de température et/ou les problèmes de processus, ce qui permet aux utilisateurs de répondre à tout événement inattendu dans le processus. Le modèle présente également des caractéristiques de sécurité avancées telles que l'arrêt à basse pression des gaz, la détection des rayonnements, la détection des fuites de gaz, l'arrêt d'urgence et les systèmes de contrôle des gaz d'échappement. Il dispose également d'un équipement de refroidissement avancé pour protéger contre les dépassements de température en cas de refroidissement rapide, ainsi que d'un refroidissement programmable après la fin du processus pour refroidir correctement la chambre et économiser de l'énergie. Dans l'ensemble, Alpha 303i-H est un four de diffusion efficace et fiable et un accessoire conçu pour des applications avancées de traitement dans la fabrication de semi-conducteurs et de MEMS, avec un certain nombre de fonctionnalités conçues pour la sécurité et la précision.