Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9411632 à vendre en France

ID: 9411632
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2001
Furnace, 12" Process: MTO Exhaust box AC Rack Heater 2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H est un four à diffusion et un équipement accessoire conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. Il offre un moyen efficace, fiable et abordable de créer de petits appareils avec des rendements élevés et une grande fiabilité. Le système se compose d'une chambre avec des conditions spéciales de chaleur et de vide, un porte-plaquettes, et un contrôleur de grille. Le contrôleur de grille contrôle la température, le débit de gaz et la pression à l'intérieur de la chambre. TEL Alpha 303i-H utilise une solution gazeuse 3 en 1 combinée à une nouvelle unité de distribution de gaz. Cette combinaison permet un dépôt rapide et stable de flux élevé nécessaire aux performances modernes du dispositif. La chambre chauffée dispose également d'un « mode lecture » unique qui permet aux utilisateurs de rejouer des simulations de recettes passées. Cela permet un réglage fin ainsi que la reproductibilité des recettes de procédé. Le porte-plaquettes utilise une technologie CVD de pointe, avec une conception de serration intégrée, éliminant le besoin de nettoyage humide. La planéité de haute précision de la surface du substrat après chargement assure une répartition uniforme du substrat au cours du processus de diffusion. La machine de contrôle a également une logique PLC avancée et un écran couleur qui surveille les données de traitement. TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H four de diffusion est conçu pour une excellente stabilité de la température et l'uniformité ainsi que des vitesses de refroidissement et de chauffage rapides. L'outil est équipé de deux entrées de gaz et d'une fonction vide pour un processus sûr et contrôlé. La connexion de l'alimentation, du contrôleur et des cascades d'actifs permet un accès direct au contrôle des processus, économisant du temps et de l'effort. Toutes les fonctions de contrôle et de sécurité sont homologuées TEL avec des fonctions HMI avancées. Le four de diffusion Alpha 303i-H est une solution idéale pour la fabrication de semi-conducteurs de haute qualité, fiables et économiques. Avec une large gamme de températures, un contrôle avancé des processus et un fonctionnement automatique, le modèle offre aux utilisateurs un appareil sans soucis et facile à utiliser. De la production de masse à haut volume à la production de prototypes à faible volume, elle peut répondre aux exigences de tous les procédés de fabrication. En outre, il est conçu pour améliorer la productivité, l'efficacité et la performance.
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