Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293606616 à vendre en France

ID: 293606616
Style Vintage: 2005
LPCVD Furnace 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K est un four de diffusion utilisé dans le processus de fabrication de semi-conducteurs et est l'un des plus avancés et fiables sur le marché. TEL ALPHA 303IK est un four de diffusion à basse température et haute performance qui offre une précision maximale, en particulier pour les applications en couches minces. Ce modèle offre jusqu'à cinq segments programmables pour des processus de diffusion multi-étapes et est capable de réaliser des épaisseurs d'oxyde reproductibles avec une grande précision et une excellente uniformité. Le four de diffusion TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K utilise du gaz azoté pour la purge et est construit avec une géométrie de bateau flottant. Les bateaux supérieurs et inférieurs peuvent être indépendants, ce qui permet des températures de traitement différentes selon les zones. Le four comprend également un tableau de commande sophistiqué avec contrôle numérique de la température et métrologie pour surveiller le processus. Un ensemble d'éléments chauffants placés dans le dos, les côtés et le fond du four facilitent le contrôle précis de la température et l'uniformité. TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK est conçu avec plusieurs caractéristiques pour améliorer la sécurité et la précision, y compris une chambre d'oxydation exothermique pour minimiser le risque d'explosion et réduire le taux de dépôt des espèces oxydantes. Le profil du bateau de diffusion est double scellé, avec une boîte à gaz pour protéger le procédé de la contamination. Le bateau est également supporté par des ressorts de suspension ou des cales pour stabiliser le bateau et réduire la contrainte thermique. De plus, le four comprend une zone de chauffage blindée en quartz, une zone de post-chaleur blindée en céramique et une zone tampon inerte pour améliorer encore la précision du procédé. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K est livré avec une suite complète d'accessoires en option, y compris, mais pas exclusivement, des bancs humides d'oxydation thermique, des systèmes de gravure sèche sans ozone et des CVD métalliques. Les principales caractéristiques offrent une excellente répétabilité et reproductibilité, permettant des rendements de production élevés. Ce four de diffusion offre également un débit élevé et est compatible avec des chambres jusqu'à 6,5 « x 5,75 ». Tous les produits TEL sont construits avec des systèmes de contrôle de qualité robustes pour garantir des performances fiables. Cela inclut un contrôle de processus avancé et une équipe de service à la clientèle dédiée qui sont disponibles pour fournir des conseils d'experts et de l'assistance. TEL ALPHA 303 I K comprend une garantie de 24 mois, couvrant les pièces et le travail jusqu'à 24 mois, pour une tranquillité d'esprit sans précédent.
Il n'y a pas encore de critiques