Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293626328 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Le four de diffusion Alpha 303i-K est un équipement de traitement de semi-conducteurs utilisé dans la fabrication de pièces semi-conductrices de haute performance. Le four est spécialement conçu pour les procédés d'implantation ionique, d'oxydation et de recuit. Il dispose de capacités de production haute précision et haute vitesse avec une faible contrainte d'oxyde thermique, obtenant des implants uniformes de haute qualité jusqu'à 250 mm de diamètre de plaquette. TEL ALPHA 303IK comprend plusieurs technologies de pointe pour un contrôle précis et efficace de tous les paramètres de processus. Il s'agit notamment de l'équipement breveté Advanced Power Control (APC), qui dispose d'une alimentation haute performance pour contrôler étroitement les caractéristiques et l'uniformité du plasma, ainsi que de la technologie Double-Ti Diffusion (DTD), qui contrôle précisément les flux de gaz et les températures pour des résultats uniformes et reproductibles. Le système intuitif de surveillance TELVision assure la surveillance et le diagnostic des processus en temps réel. De plus, le scanner motorisé avancé (AMS) assure un balayage haute précision et rapide des plaquettes de 25 mm. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K utilise également une unité brevetée de réduction directe de pyrolyse (DPR), permettant au four de diffusion d'utiliser des procédés de pyrolyse à basse température (dépôt chimique en phase vapeur) à haut débit tout en évitant les effets de paroi froide et les non uniformités de traitement. En outre, le kit d'extension MEMS optionnel permet le traitement de MEMS (systèmes microélectromécaniques) jusqu'à 10x grossissement pour un formage et une gravure précis. TEL ALPHA 303 I K est livré avec un ensemble complet d'accessoires pour surveiller et contrôler tous les aspects du processus de diffusion. L'unité comprend un obturateur automatisé pour le démarrage sans erreur, un générateur RF pour le contrôle de la génération de plasma et de l'adaptation d'impédance, un contrôleur de résistivité de boîte E pour le contrôle d'impédance, un contrôleur intégré pour la gestion de toutes les fonctions de l'outil, une chambre de charge pour le contrôle de la température du substrat et une pompe turbo à vide pour les pompes rapides. Pour maximiser les cycles de vie des produits et minimiser l'entretien des processus, TEL a conçu TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K avec une construction robuste et des caractéristiques de sécurité avancées, y compris un atout de sécurité intégré qui prévient les accidents et les dommages au personnel, aux structures de soutien et à l'environnement environnant. L'unité dispose également de plusieurs fonctionnalités utiles pour la facilité d'utilisation, y compris sa conception pour faciliter l'entretien et le transport. En outre, le four est certifié pour répondre aux exigences strictes des normes Sematech en matière d'optique et de radioprotection. L'ALPHA 303 I K offre des performances de pointe pour maintenir votre ligne de production à son rendement maximal. Sa combinaison de technologies de pointe de four de diffusion et d'accessoires complets fournit des résultats de traitement fiables, reproductibles et de haute qualité, contribuant à maintenir vos coûts de production bas et les rendements des produits élevés.