Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #82006 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Le four de diffusion Alpha 303i-K est un four professionnel de haute performance conçu pour la diffusion monobloc. Il fournit une plate-forme ultra-stable pour la livraison et le traitement des substrats. Ce four est conçu pour effectuer la gravure multicouche et le dépôt sur les substrats petits et grands, avec une taille maximale de plaquettes allant jusqu'à 8 pouces. Le cœur de TEL ALPHA 303IK est sa chambre de chauffage à haute température et économe en énergie, offrant des températures allant jusqu'à 1400 ° C pour un recuit thermique rapide et une oxydation. Il utilise un réseau de lampes à quartz à haute température à entraînement direct qui assure une répartition uniforme et cohérente de la chaleur sur toute la surface de la plaquette. Le profil de température par paliers réglable permet un contrôle précis du gradient de température dans toute la chambre du four. Le TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K est doté d'un châssis mécanique robuste avec joints bi-imperméables assurant des propriétés thermiques et cinétiques uniformes à haute température. Il est également livré avec une suite d'accessoires comprenant un élément robotique, une gamme de capteurs automatisés, un système d'alimentation d'atmosphère indépendant et un logiciel intuitif, permettant aux utilisateurs de programmer facilement leurs réglages. Le four est équipé d'une variété de dispositifs de sécurité avancés, y compris plusieurs sondes de température pour détecter les différences de température dangereuses, des capteurs de pression pour détecter la possibilité de contamination partielle, et un interrupteur d'interruption de vide pour arrêter le fonctionnement du four dans les situations d'urgence. TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K est entièrement intégré avec E- Clean™ un système d'automatisation de la salle blanche de précision de pointe, ce qui le rend idéal pour les environnements de salle blanche ainsi que les paramètres de fabrication traditionnels. Alpha 303i-K est conçu pour offrir une solution fiable, répétable et rentable pour les processus de diffusion avancés. Avec sa conception de pointe et ses caractéristiques de sécurité avancées, TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K four de diffusion est le sommet des machines de diffusion monobloc.